[实用新型]一种旋转溅射靶材防跌落承托平台

权利要求书

1.一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，包括安装架(1)，其特征在于：所述安装架(1)底部的右侧固定安装有承托板(2)，所述承托板(2)顶部的左侧固定安装有蓄电池(7)，所述承托板(2)的右侧固定安装有控制器(3)，所述安装架(1)的顶部固定安装有固定框(4)，所述固定框(4)的正表面通过螺栓固定安装有伺服电机(9)，所述伺服电机(9)的输出端且位于固定框(4)的内腔固定连接有螺杆(11)，所述螺杆(11)的表面螺纹套设有螺套(12)，所述螺套(12)的顶部安装有夹持组件(8)，所述夹持组件(8)包括辅助框(85)和压力传感器(82)，左右两个辅助框(85)之间固定安装有连接板(6)，所述连接板(6)表面的中心处固定连接有弹性防滑垫(10)。

2.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，其特征在于：所述安装架(1)的底部固定安装支撑架(13)，所述支撑架(13)的底部通过螺栓固定安装有双刹脚轮，左右两个支撑架(13)之间固定套设有加固板(5)。

3.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，其特征在于：所述固定框(4)的数量为三个，所述螺杆(11)表面相邻的螺纹旋向相反，所述辅助框(85)的底部与固定框(4)的顶部滑动接触。

4.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，其特征在于：所述蓄电池(7)的输出端通过导线与控制器(3)的输入端电连接，所述压力传感器(82)通过导线与控制器(3)双向电连接，所述伺服电机(9)的输入端通过导线与控制器(3)的输出端电连接。

5.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，其特征在于：所述辅助框(85)的底部与螺套(12)的顶部固定连接，所述辅助框(85)的表面开设有收纳槽(84)，所述收纳槽(84)的内壁固定连接有连接弹簧(83)，所述连接弹簧(83)的另一端固定连接有凸杆(81)。

6.根据权利要求1所述的一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，其特征在于：所述压力传感器(82)固定镶嵌在辅助框(85)表面的中心处。