[实用新型]一种旋转溅射靶材防跌落承托平台

说明书

本实用新型公开了一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，包括安装架，所述安装架底部的右侧固定安装有承托板，所述承托板顶部的左侧固定安装有蓄电池，所述承托板的右侧固定安装有控制器，所述安装架的顶部固定安装有固定框。本实用新型通过承托板、控制器、固定框、蓄电池、凸杆、压力传感器、连接弹簧、收纳槽、辅助框、伺服电机、螺杆和螺套配合使用，解决了承托平台采用固定式模具对旋转靶材进行承载收纳，在实际生产过程中，应对于不同直径的旋转靶材需更换不同大小规格的模具，在此过程中大大增加操作时间，影响工作效率，且不能进行上下定位防护，旋转靶材容易在转运过程中上下位移而脱离，存在一定安全隐患的问题。

技术领域

本实用新型涉及旋转靶材技术领域，具体为一种旋转溅射靶材防跌落承托平台。

背景技术

旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动，广泛应用于太阳能电池，建筑玻璃，汽车玻璃，半导体，平板电视等，在生产过程中需要进行多个加工步骤，包括有打磨、绑定和溅射成膜等，在各个生产环节的转换过程中都需要对旋转靶工件进行待放、转移，进而会使用到承托平台对旋转靶材进行存放收纳。

专利申请公布号CN211615542U的实用新型专利公开了一种TFT旋转溅射靶材防跌落平台，包括有主架，主架的顶部凸起设置有多个靶材置放部，靶材置放部包括有多个用于承托靶材工件的承托掐口，承托掐口开口向上设置，承托掐口的掐口大小不小于靶材工件的径宽。同一靶材置放部的各承托掐口分别沿直线方向排列设置，同一靶材置放部的相邻的两个承托掐口之间分别间隔设置有悬空吊装间距，靶材工件的相应部分分别嵌入于同一靶材置放部的各个承托掐口内，各个承托掐口的内侧面分别与靶材工件的外表面进行间隙配合。与现有技术相比，本实用新型通过多个与靶材工件的轮廓相匹配的承托掐口对靶材工件进行多点承托支撑，避免靶材工件发生意外侧滚，放置靶材工件意外跌落。

但是上述装置在实际使用时仍旧存在一些缺点，较为明显的就是采用固定式模具对旋转靶材进行承载收纳，在实际生产过程中，应对于不同直径的旋转靶材需更换不同大小规格的模具，在此过程中大大增加操作时间，影响工作效率，且不能进行上下定位防护，旋转靶材容易在转运过程中上下位移而脱离，存在一定安全隐患。

因此，发明一种旋转溅射靶材防跌落承托平台来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，具备适用范围广和上下定位的优点，解决了承托平台采用固定式模具对旋转靶材进行承载收纳，在实际生产过程中，应对于不同直径的旋转靶材需更换不同大小规格的模具，在此过程中大大增加操作时间，影响工作效率，且不能进行上下定位防护，旋转靶材容易在转运过程中上下位移而脱离，存在一定安全隐患的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种旋转溅射靶材防跌落承托平台，包括安装架，所述安装架底部的右侧固定安装有承托板，所述承托板顶部的左侧固定安装有蓄电池，所述承托板的右侧固定安装有控制器，所述安装架的顶部固定安装有固定框，所述固定框的正表面通过螺栓固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端且位于固定框的内腔固定连接有螺杆，所述螺杆的表面螺纹套设有螺套，所述螺套的顶部安装有夹持组件，所述夹持组件包括辅助框和压力传感器，左右两个辅助框之间固定安装有连接板，所述连接板表面的中心处固定连接有弹性防滑垫。

优选的，所述安装架的底部固定安装支撑架，所述支撑架的底部通过螺栓固定安装有双刹脚轮，左右两个支撑架之间固定套设有加固板。

优选的，所述固定框的数量为三个，所述螺杆表面相邻的螺纹旋向相反，所述辅助框的底部与固定框的顶部滑动接触。

优选的，所述蓄电池的输出端通过导线与控制器的输入端电连接，所述压力传感器通过导线与控制器双向电连接，所述伺服电机的输入端通过导线与控制器的输出端电连接。