[实用新型]一种研磨设备的气体静压回转平台有效
申请号: | 202320069494.3 | 申请日: | 2023-01-10 |
公开(公告)号: | CN219255203U | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 赵康 | 申请(专利权)人: | 苏州翠竹半导体有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34;B24B41/00;B24B41/02;B24B41/04 |
代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 朱世新 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨 设备 气体 静压 回转 平台 | ||
本实用新型公开了一种研磨设备的气体静压回转平台,包括回转平台主体,所述回转平台主体底端轴心通过主轴连接有转动组件,转动组件包括设于主轴末端的制动轴杆、通过传动皮带与制动轴杆连接的驱动电机、与主轴上的环形齿轮啮合传动的气压回转组件,所述驱动电机固定在支撑底座内,从而达到环形齿轮对主轴回转推动,在回转平台主体的底端设置配合气压回转组件的转动组件,使回转平台主体对工件带动工件缓慢回转复位,给工件通过回转平台主体的回转研磨调整研磨角度的时间,降低对工件研磨加工的损坏率,提高对工件研磨精度。
技术领域
本实用新型属于研磨设备技术领域,具体涉及一种研磨设备的气体静压回转平台。
背景技术
在通过转轴式研磨设备对工件研磨加工时,随着正、反向旋转主轴,由主轴带动回转平台上的工件旋转,配合研磨设备上的研磨组件随着回转平台对工件带动转动的作用力达到对工件研磨的目的,传统主轴的转动都是通过驱动电机配合对主轴转动,达到通过主轴对回转平台转动的目的,由于在回转时转速过快,需要对工件研磨位置调整时,由于转速过快,导致无法对工件的位置调节,从而降低了对工件通过回转平台的回转研磨精度,易产生研磨不良;
因此,本实用新型提供了一种通过气压缓冲配合回转的研磨设备的气体静压回转平台。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种研磨设备的气体静压回转平台,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种研磨设备的气体静压回转平台,包括:
回转平台主体,所述回转平台主体的底端设有对回转平台保持水平转动的支撑底座,所述回转平台主体底端轴心通过主轴连接有转动组件,所述转动组件设于支撑底座内部;
转动组件包括设于主轴末端的制动轴杆、通过传动皮带与制动轴杆连接的驱动电机、与主轴上的环形齿轮啮合传动的气压回转组件,所述驱动电机固定在支撑底座内;
气压回转组件包括与环形齿轮啮合传动的直齿板、设于直齿板末端的阻尼杆、与阻尼杆末端套接并与阻尼杆配合产生阻尼作用力的阻尼筒,所述阻尼筒的末端固定在支撑底座内壁上。
进一步的,所述支撑底座的底端设有与研磨设备配合装配的安装底板。
进一步的,所述回转平台主体底端的导向滚珠设于支撑底座上顶面的环形导向槽内,通过导向滚珠限位在环形导向槽内对回转平台配合转动。
进一步的,所述直齿板的左端设有对直齿板与环形齿轮限位的弧形限位板,且弧形限位板的内侧面设有与环形齿轮缓冲接触的半轴承。
进一步的,所述直齿板的上部和下部设有分别限位在环形齿轮上部和下部的限位板。
进一步的,所述限位板内侧面设有配合直齿板移动的滚珠,所述滚珠的顶面与环形齿轮的上表面和底面贴合滚动。
本实用新型具有以下技术效果和优点:
该研磨设备的气体静压回转平台,在回转平台主体的底端设置配合气压回转组件的转动组件,实现驱动电机运行驱动电机上的传动皮带对制动轴杆产生转动,从而制动轴杆对回转平台主体底端轴心的主轴带动转动,气压回转组件上的直齿板随着主轴的转动,与主轴上的环形齿轮产生啮合推动作用力,使得直齿板右端的阻尼杆向阻尼筒内回缩,从而实现对回转平台上的工件转动研磨的作用力;
回转平台主体需要回转时,驱动电机停止运行,直齿板失去主轴转动的推动力后,直齿板右端的阻尼筒对阻尼杆复位,使得阻尼杆复位时对直齿板向左侧移动,直齿板移动时与环形齿轮产生转动推动作用力,从而达到环形齿轮对主轴回转推动,使回转平台主体对工件带动工件缓慢回转复位,给工件通过回转平台主体的回转研磨调整研磨角度的时间,降低对工件研磨加工的损坏率,提高对工件研磨精度。
附图说明
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