[实用新型]一种比例阀流量自动标定设备

权利要求书

1.一种比例阀流量自动标定设备，其特征在于，包括压力控制单元（A）和真空单元（B）；

压力控制单元（A）包括第一管路，真空单元（B）包括第二管路、第三管路；

第一管路一端连接气源，另一端用于连接比例阀（C），第一管路从气源到比例阀（C）依次设置有第一减压器（1）、第一手动阀门（2）、第一过滤器（3）、第一压力表（4）、第二减压器（5）、第二压力表（6）、气容（7）、第二手动阀门（8）、质量流量计（9）、第三减压器（10）、第一电动阀门（11）、第二过滤器（12）；

第二管路一端连接真空容器（16），另一端连接于气容（7）和第二手动阀门（8）之间，第二管路上设置有第二电动阀门（14）；

第三管路一端连接真空容器（16），另一端用于连接比例阀（C），第三管路从比例阀（C）到真空容器（16）依次设置有第三电动阀门（13）、第三手动阀门（15）；

真空容器（16）还连接有真空泵（17）、真空规（18）、复压阀（19）。

2.根据权利要求1所述的比例阀流量自动标定设备，其特征在于，第一减压器（1）为手动减压器，第二减压器（5）、第三减压器（10）为电子减压器。

3.根据权利要求1所述的比例阀流量自动标定设备，其特征在于，气容（7）容积至少为比例阀（C）每秒气体流量容积的30倍。

4.根据权利要求1所述的比例阀流量自动标定设备，其特征在于，质量流量计（9）精度为流量范围的±0.5%。

5.根据权利要求1所述的比例阀流量自动标定设备，其特征在于，气源压力最高为23MPa。