[实用新型]一种比例阀流量自动标定设备

说明书

本实用新型公开了一种比例阀流量自动标定设备，涉及流体控制技术领域，压力控制单元包括第一管路，真空单元包括第二管路、第三管路；第一管路两端分别连接气源和比例阀，第一管路设置有第一减压器、第一手动阀门、第一过滤器、第一压力表、第二减压器、第二压力表、气容、第二手动阀门、质量流量计、第三减压器、第一电动阀门、第二过滤器；第二管路一端连接真空容器，另一端连接于气容和第二手动阀门之间，第二管路上设置有第二电动阀门；第三管路一端连接真空容器，另一端用于连接比例阀，第三管路依次设置有第三电动阀门、第三手动阀门；真空容器还连接有真空泵、真空规、复压阀。能对管路中的压力进行稳定控制，提高标定精度。

技术领域

本实用新型涉及流体控制技术领域，尤其涉及一种比例阀流量自动标定设备。

背景技术

微型比例阀（简称比例阀）通过控制线圈电流的大小，调节出气口的开度，控制气体的流量，适用于单电源的高性能比例阀，超小型尺寸，重量轻，耗电低（Max.2W），特制的阀芯材料磁力高、磁滞水平低，采用蝶形弹簧，确保介质的流量稳定。广泛应用在气体质量流量计或控制器，如气相色谱仪和各种其他分析仪器的自动气流控制装置、医疗器械的分析仪或呼吸设备等。

比例阀需要进行流量标定以最终确定比例阀压力-流量关系，但对于高精度微型比例阀来说，国内大多直接采用进口，因此研究高精度微型比例阀子自动化流量标定设备的厂家也相对较少。使用普通流量标定设备对高精度微型比例阀进行流量标定的过程中，管路内压力波动大，导致比例阀的标定结果误差较大。

实用新型内容

为解决现有技术不足，本实用新型提供一种比例阀流量自动标定设备，能对管路中的压力进行稳定控制，提高标定精度。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下方案：

一种比例阀流量自动标定设备，包括压力控制单元和真空单元。

压力控制单元包括第一管路，真空单元包括第二管路、第三管路；

第一管路一端连接气源，另一端用于连接比例阀，第一管路从气源到比例阀依次设置有第一减压器、第一手动阀门、第一过滤器、第一压力表、第二减压器、第二压力表、气容、第二手动阀门、质量流量计、第三减压器、第一电动阀门、第二过滤器；

第二管路一端连接真空容器，另一端连接于气容和第二手动阀门之间，第二管路上设置有第二电动阀门；

第三管路一端连接真空容器，另一端用于连接比例阀，第三管路从比例阀到真空容器依次设置有第三电动阀门、第三手动阀门；

真空容器还连接有真空泵、真空规、复压阀。

进一步的，第一减压器为手动减压器，第二减压器、第三减压器为电子减压器。

进一步的，气容容积至少为比例阀每秒气体流量容积的30倍。

进一步的，质量流量计精度为流量范围的±0.5%。

进一步的，气源压力最高为23MPa。

本实用新型的有益效果在于：压力控制单元通过多级压控及缓冲气容实现标定过程中气体压力的稳定控制，同时，采用高精度质量流量计进行气体流量采集，利用电磁阀实现自动化控制；真空单元通过真空泵，实现被标定比例阀入口与出口管路的真空抽取，降低管路内空气对标定精度的影响，同时，在标定过程中，持续对被标定比例阀出口进行抽真空，加快气体流速和残余控制，进一步提高标定精度。

附图说明

图1为实施例的标定设备连接关系图；

图2为实施例的标定方法流程图。

具体实施方式

如图1所示，本实施例提供了一种比例阀流量自动标定设备，包括压力控制单元A和真空单元B。