[实用新型]一种缓蚀剂固态化成型装置

权利要求书

1.一种缓蚀剂固态化成型装置，包括反应箱（1），其特征在于：所述反应箱（1）的内部两端的顶部分别安装有主剂加工室（2）与辅料加工室（3），所述反应箱（1）的内部底端一侧安装有成型室（4），所述成型室（4）的顶部一端通过支撑杆支撑有混融室（5），所述混融室（5）与主剂加工室（2）、辅料加工室（3）均通过连接管道（6）进行连接，并且所述连接管道（6）的外壁安装有电磁阀，所述混融室（5）的内部安装有搅拌机构（7），所述成型室（4）的内部设置有挤压机构（8），所述混融室（5）底部与成型室（4）顶部通过固定管（9）进行连接。

2.根据权利要求1所述的一种缓蚀剂固态化成型装置，其特征在于：所述搅拌机构（7）包括有安装在混融室（5）顶部的第一电机（701），所述第一电机（701）的输出端安装有适配混融室（5）的搅拌架（702），所述混融室（5）的底部中心安装有与搅拌架（702）轴杆转动连接的过滤板（703），所述过滤板（703）由中心圆板以及外周面具有过滤功能的圆环板进行组合。

3.根据权利要求2所述的一种缓蚀剂固态化成型装置，其特征在于：所述成型室（4）的顶部开设有通孔安装有单向阀（10），所述单向阀（10）安装在固定管（9）的外壁，所述固定管（9）的外壁还设置有电磁阀。

4.根据权利要求3所述的一种缓蚀剂固态化成型装置，其特征在于：所述挤压机构（8）包括有安装在反应箱（1）外侧底部的第二电机（801），所述第二电机（801）的输出端连接有矩形转动块（802），所述矩形转动块（802）的外壁连接有带有矩形槽的挤压杆（803），所述挤压杆（803）的一端通过轴承连接有挤压板（804），所述反应箱（1）与成型室（4）相对的一端安装有固定套（805），所述固定套（805）的内部开设有螺旋槽（806），所述螺旋槽（806）的内部设置有固定在挤压杆（803）外壁的限位块（807）。

5.根据权利要求4所述的一种缓蚀剂固态化成型装置，其特征在于：所述反应箱（1）的内侧一端底部开设有开槽（11），所述开槽（11）的底部安装有固定座（12），所述固定座（12）的轴杆外壁转动连接有支撑座（13），所述支撑座（13）的顶部支撑有密封盖（14）。

6.根据权利要求5所述的一种缓蚀剂固态化成型装置，其特征在于：所述密封盖（14）的一端连接有第一插销座（15），所述反应箱（1）外侧一端底部连接有第二插销座（16），所述第一插销座（15）与第二插销座（16）内部设置有插杆（17）。