[实用新型]长晶炉

权利要求书

1.一种长晶炉，其特征在于，包括：

炉体；

冷却管路(100)，所述冷却管路(100)设置于所述炉体，用于冷却所述炉体，所述冷却管路(100)包括进水管(110)、出水管(130)和多个支管(120)，所述进水管(110)用于与PCW的供水管(300)连通，所述出水管(130)用于与PCW的回水管(310)连通，每个所述支管(120)的两端分别连通于所述进水管(110)和所述出水管(130)；

接地结构(200)，所述接地结构(200)与所述冷却管路(100)电连接，用于使所述冷却管路(100)接地。

2.根据权利要求1所述的长晶炉，其特征在于，所述接地结构(200)与所述进水管(110)、所述出水管(130)和所述支管(120)三者中的至少一者电连接。

3.根据权利要求2所述的长晶炉，其特征在于，所述接地结构(200)与所述支管(120)电连接。

4.根据权利要求3所述的长晶炉，其特征在于，所述接地结构(200)包括多条第一接地导线(210)，所述多条第一接地导线(210)一一对应地与所述多个支管(120)电连接。

5.根据权利要求4所述的长晶炉，其特征在于，所述第一接地导线(210)通过金属卡件与所述支管(120)电连接。

6.根据权利要求5所述的长晶炉，其特征在于，所述金属卡件包括第一箍体和第二箍体，所述第一箍体和所述第二箍体可拆卸连接且共同夹持于所述支管(120)的外壁，所述第一接地导线(210)的一端与所述第一箍体或者所述第二箍体电连接。

7.根据权利要求4所述的长晶炉，其特征在于，所述接地结构(200)还包括汇流排(220)，所述汇流排(220)电连接有第二接地导线(230)，所述第二接地导线(230)用于与大地电连接，多条所述第一接地导线(210)远离对应的所述支管(120)的一端分别与所述汇流排(220)电连接。

8.根据权利要求7所述的长晶炉，其特征在于，所述汇流排(220)设置有多个接线柱，多个所述接线柱与多条所述第一接地导线(210)一一对应且电连接。

9.根据权利要求8所述的长晶炉，其特征在于，所述接线柱的外壁设置有供所述第一接地导线(210)缠绕的凹槽。

10.根据权利要求7所述的长晶炉，其特征在于，所述接地结构(200)还包括绝缘箱(240)，所述汇流排(220)设置于所述绝缘箱(240)内，所述第二接地导线(230)与多条所述第一接地导线(210)均穿设所述绝缘箱(240)的箱壁。