[实用新型]长晶炉

说明书

本实用新型实施例提供了一种长晶炉，属于碳化硅生产领域，长晶炉包括炉体、冷却管路以及接地结构，冷却管路设置于炉体，用于冷却炉体，接地结构与冷却管路电连接，用于使冷却管路接地。通过设置接地结构，将冷却管路接地，从而可以有效地将冷却管路以及流经冷却管路的水中的电荷引入大地，一方面可以排除长晶炉的冷却管路内的电荷，另一方面可以排除流经冷却管路的水中的电荷，避免带电的水回到PCW，从而尽可能避免因管路和水流带电导致的人员触电、设备受损以及电磁干扰等情况发生。

技术领域

本实用新型涉及碳化硅生产领域，具体而言，涉及一种长晶炉。

背景技术

作为第三代半导体材料的代表，碳化硅(SiC)具有宽禁带、高击穿电场、高热导率、高饱和电子迁移率等特点，因此采用碳化硅材料制备的半导体器件适用于高电压、大电流、高温、高频等场景，前景十分广阔。

长晶炉是制备碳化硅晶体的重要设备，碳化硅晶体制备过程需要高温环境，因此长晶炉通常会设置加热线圈进行电加热，同时配置有PCW(工艺冷却水系统，ProcessCooling Water)进行冷却降温。PCW的水在长晶炉内流动过程中，容易带电，尤其是水质下降或者应急自来水进入长晶炉后带电现象更加明显，容易产生人员触电、设备受损、电磁干扰等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种长晶炉，其能够有效将冷却管路以及流经冷却管路的水中的电荷引入大地，从而避免因管路和水流带电导致的人员触电、设备受损、电磁干扰等情况发生。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种长晶炉，包括：

炉体；

冷却管路，所述冷却管路设置于所述炉体，用于冷却所述炉体，所述冷却管路包括进水管、出水管和多个支管，所述进水管用于与PCW的供水管连通，所述出水管用于与PCW的回水管连通，每个所述支管的两端分别连通于所述进水管和所述出水管；

接地结构，所述接地结构与所述冷却管路电连接，用于使所述冷却管路接地。

在可选的实施方式中，所述接地结构与所述进水管、所述出水管和所述支管三者中的至少一者电连接。

在可选的实施方式中，所述接地结构与所述支管电连接。

在可选的实施方式中，所述接地结构包括多条第一接地导线，所述多条第一接地导线一一对应地与所述多个支管电连接。

在可选的实施方式中，所述第一接地导线通过金属卡件与所述支管电连接。

在可选的实施方式中，所述金属卡件包括第一箍体和第二箍体，所述第一箍体和所述第二箍体可拆卸连接且共同夹持于所述支管的外壁，所述第一接地导线的一端与所述第一箍体或者所述第二箍体电连接。

在可选的实施方式中，所述接地结构还包括汇流排，所述汇流排电连接有第二接地导线，所述第二接地导线用于与大地电连接，多条所述第一接地导线远离对应的所述支管的一端分别与所述汇流排电连接。

在可选的实施方式中，所述汇流排设置有多个接线柱，多个所述接线柱与多条所述第一接地导线一一对应且电连接。

在可选的实施方式中，所述接线柱的外壁设置有供所述第一接地导线缠绕的凹槽。

在可选的实施方式中，所述接地结构还包括绝缘箱，所述汇流排设置于所述绝缘箱内，所述第二接地导线与多条所述第一接地导线均穿设所述绝缘箱的箱壁。

本实用新型实施例的有益效果包括：