[实用新型]一种新型晶圆承载装置

权利要求书

1.一种新型晶圆承载装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部通过轴承转动相连有圆杆(2)，所述圆杆(2)的顶部固接有顶板(3)，所述顶板(3)的顶部固接有定位块(4)，所述顶板(3)的顶部贴合有盘体(5)，所述盘体(5)的内部设置有多个晶圆(6)，所述顶板(3)的上方设置有固定机构；

固定机构包括第一限位板(12)、连杆(19)、滑套(18)、滑轨(17)、第一弹簧(20)、插杆(21)和插槽(16)；

所述第一限位板(12)的底部与顶板(3)的顶部相贴合，所述第一限位板(12)的内侧上方与盘体(5)的顶部相贴合，所述第一限位板(12)的底部固接有与顶板(3)的一侧通孔活动相连的连杆(19)，所述连杆(19)的下方通过螺栓固接有滑套(18)，所述滑套(18)的内壁滑动卡接有与顶板(3)底部相固接的滑轨(17)，所述滑轨(17)的外壁活动相连有第一弹簧(20)，所述第一弹簧(20)的两端分别与滑轨(17)的一侧和滑套(18)的一侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型晶圆承载装置，其特征在于：所述第一限位板(12)的一侧设置有与顶板(3)的顶部相贴合的插杆(21)，所述插杆(21)的一侧设置有开设在顶板(3)顶部的插槽(16)，所述第一限位板(12)的一侧固接有外壳(13)，所述外壳(13)的内壁滑动卡接有滑块(15)，所述滑块(15)的外壁一侧与外壳(13)的一侧通孔活动相连，所述滑块(15)的顶部通过橡胶柱(14)与外壳(13)的内壁顶部固定连接，所述滑块(15)的底部与插杆(21)的顶部相固接，所述插杆(21)的外壁与外壳(13)的底部通孔活动相连。

3.根据权利要求2所述的一种新型晶圆承载装置，其特征在于：所述滑块(15)的一侧安装有拉环。

4.根据权利要求1所述的一种新型晶圆承载装置，其特征在于：所述底板(1)的顶部凹槽活动相连有卡块(11)，所述卡块(11)的顶部固接有环形板(10)，所述环形板(10)的一侧通孔活动相连有直杆(22)，所述直杆(22)的顶部与顶板(3)的底部固定连接，所述直杆(22)的底部固接有与环形板(10)底部相贴合的第二限位板(7)，所述直杆(22)的外壁活动相连有第二弹簧(8)，所述第二弹簧(8)的两端分别与顶板(3)的底部和环形板(10)的顶部固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种新型晶圆承载装置，其特征在于：所述环形板(10)的一侧安装有握柄(9)。