[实用新型]一种多功能的共晶机有效
申请号: | 202320236204.X | 申请日: | 2023-02-06 |
公开(公告)号: | CN219106090U | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
发明(设计)人: | 李金龙;李德荣;李银拴 | 申请(专利权)人: | 佑光智能半导体科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/60 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多功能 共晶机 | ||
1.一种多功能的共晶机,其特征在于,包括:
机架底板(100),所述机架底板(100)固定设置有安装支架(110)以及设置于所述安装支架(110)的共晶平台(120);
管座转运模块(200),安装于所述机架底板(100)并用于将管座上料至所述共晶平台(120)及对所述共晶平台(120)共晶完成产品进行抓取下料;
第一供晶模块(300),安装于所述机架底板(100)并用于对激光芯片供料并转运至所述共晶平台(120)进行固晶,所述第一供晶模块(300)包括用于对激光芯片供料的第一供料位(310);
第二供晶模块(400),安装于所述机架底板(100)并用于对热沉芯片及保护芯片供料并依次转运至所述共晶平台(120)进行预共晶,所述第二供晶模块(400)包括用于供料的芯片供料组件(410)以及用于依次将所述芯片供料组件(410)的芯片转运至所述共晶平台(120)的芯片转运组件(420);所述芯片供料组件(410)包括用于对保护芯片供料的第二供料位(411)、用于对热沉芯片供料的第三供料位(412)以及驱动所述第二供料位(411)及所述第三供料位(412)沿XY轴同步运动的供料驱动件(413)。
2.根据权利要求1所述的多功能的共晶机,其特征在于,所述供料驱动件(413)设置为滑移设置的滑台底板(4132)以及驱动所述滑台底板(4132)沿X轴或Y轴直线滑移的XY滑台件(4131),所述XY滑台件(4131)与所述机架底板(100)固定设置,所述第二供料位(411)及所述第三供料位(412)均固定设置于所述滑台底板(4132)并在所述XY滑台件(4131)的驱动下同步运动依次为所述芯片转运组件(420)供料。
3.根据权利要求2所述的多功能的共晶机,其特征在于,所述芯片转运组件(420)包括设置于所述机架底板(100)以用于带动芯片进行角度变换的第一校准件(421)、设置于所述安装支架(110)以用于依次将所述滑台底板(4132)的芯片转运至所述第一校准件(421)的固晶转运件(422)以及滑移设置于所述安装支架(110)以用于将校准后的芯片转运至所述共晶平台(120)的第一抓料件(423)。
4.根据权利要求3所述的多功能的共晶机,其特征在于,所述芯片转运组件(420)还包括感应监测所述第二供料位(411)及所述第三供料位(412)并向所述固晶转运件(422)反馈信号的第一视觉元件(424)以及感应监测所述第一校准件(421)的校准角度并向所述第一抓料件(423)反馈信号的第二视觉元件(425),所述第一视觉元件(424)及所述第二视觉元件(425)均设置于所述安装支架(110)。
5.根据权利要求1所述的多功能的共晶机,其特征在于,所述供料驱动件(413)设置为与所述机架底板(100)固定设置的摇臂驱动电机(4133)、与所述摇臂驱动电机(4133)的旋转轴同轴固定设置的直线滑台件(4134)、与所述直线滑台件(4134)的滑台固定设置的反转驱动电机(4135)以及与所述反转驱动电机(4135)的转动轴同轴固定设置的芯片料盘(4136);所述第二供料位(411)及所述第三供料位(412)均固定设置于所述芯片料盘(4136),所述摇臂驱动电机(4133)与所述反转驱动电机(4135)的转动方向相反并同步运动;所述芯片料盘(4136)带动所述第二供料位(411)及所述第三供料位(412)依次为所述芯片转运组件(420)供料。
6.根据权利要求5所述的多功能的共晶机,其特征在于,所述芯片转运组件(420)包括设置于所述机架底板(100)以用于带动芯片进行角度变换的第二校准件(426)以及滑移设置于所述安装支架(110)以用于转运所述芯片料盘(4136)的芯片至所述第二校准件(426)并将校准后的芯片转运至所述共晶平台(120)的第二抓料件(427);所述第二抓料件(427)抓料时所述芯片料盘(4136)位于所述第二校准件(426)的正上方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造