[实用新型]一种清洗结构及光罩清洗机

说明书

一种清洗结构及光罩清洗机，涉及光罩加工技术领域。该清洗结构包括机台、设置在机台上的液源组件、管路和控制器，以及设置在管路上的脏污感应器，液源组件用于存放和输送清洗液，管路的入口端与液源组件连接，出口端用于向待清洗产品喷洒清洗液，脏污感应器与控制器电连接，脏污感应器用于检测管路内的脏污并向控制器发出警示信号。该清洗结构通过在管路上设置脏污感应器，实时监测管路内清洗液的洁净程度，若检测到脏污，能够及时向控制器发出警示信号，提醒工作人员停止清洗，阻止待清洗产品受影响，并且省去了中间排查的时间，在第一时间就找到出现问题的管路。

技术领域

本实用新型涉及光罩加工技术领域，具体而言，涉及一种清洗结构及光罩清洗机。

背景技术

光罩清洗机主要负责制程中的清洗和贴膜前的最终清洗，机台本身设有多个管路，管路内流通化学药品，因此机台环境及其管路的洁净度对于清洗而言至关重要。

现有的光罩清洗机在实际使用过程中，遇到较多的情况是检测器显示正常，产品在最终清洗和贴膜后的检验中才发现新增脏污。目前针对新增异常脏污的常用的方法是在产品出现问题后单独测试各个管路的洁净度，耗时耗力，而且在异常发生时并不能第一时间监测到，会影响到产品的品质。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种清洗结构及光罩清洗机，能够在管路内有异常脏污时及时向机台发出警示信号，并且省去了管路排查的时间。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实用新型实施例提供一种清洗结构，包括机台、设置在机台上的液源组件、管路和控制器，以及设置在管路上的脏污感应器，液源组件用于存放和输送清洗液，管路的入口端与液源组件连接，出口端用于向待清洗产品喷洒清洗液，脏污感应器与控制器电连接，脏污感应器用于检测管路内的脏污并向控制器发出警示信号。

可选地，脏污感应器与管路的出口端之间的距离小于或等于管路总长度的10％。

可选地，脏污感应器设置在管路的出口端。

可选地，管路的出口端设有与控制器电连接的阀门，阀门能够在控制器的控制下将管路关闭。

可选地，管路和脏污感应器均包括多个，脏污感应器与管路一一对应设置。

可选地，脏污感应器设置在管路的内部。

可选地，脏污感应器为粒子探测器，粒子探测器包括保护层，保护层用于防止粒子探测器被管路内的化学药品腐蚀。

可选地，脏污感应器设置在管路的外壁上。

可选地，脏污感应器为重力传感器或光电传感器。

本实用新型实施例还提供一种光罩清洗机，包括如上任意一项的清洗结构。

本实用新型实施例的有益效果包括：

本实用新型实施例提供的清洗结构，包括机台、设置在机台上的液源组件、管路和控制器，以及设置在管路上的脏污感应器，液源组件用于存放和输送清洗液，管路的入口端与液源组件连接，出口端用于向待清洗产品喷洒清洗液，脏污感应器与控制器电连接，脏污感应器用于检测管路内的脏污并向控制器发出警示信号。上述清洗结构，通过在管路上设置脏污感应器，实时监测管路内清洗液的洁净程度，若检测到脏污，能够及时向控制器发出警示信号，提醒工作人员停止清洗，阻止待清洗产品受影响，并且省去了中间排查的时间，在第一时间就找到出现问题的管路。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。