[实用新型]一种PVD真空镀膜用真空腔检测机有效
| 申请号： | 202320276496.X | 申请日： | 2023-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN219142166U | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 唐海明;向炜 | 申请（专利权）人： | 厦门世鑫达工贸有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/34 | 分类号： | G01M3/34;C23C14/56;C23C14/52 |
| 代理公司： | 广州辉久专利代理事务所(普通合伙) 44951 | 代理人： | 谢燕钿 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pvd 真空镀膜 空腔 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，其包括有机体、电离真空计、进气管、滤框和出气管，机体前方设有电离真空计，机体与电离真空计之间设置有滤框，滤框上方连接有进气管，进气管另一端与机体连接，滤框下方连接有出气管，出气管的另一端连接有电离真空计，其特征在于，包括有滤架和挡板，滤框内部设置有滤架，滤框一侧活动式连接有挡板。
2.如权利要求1所述的一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，其特征在于，还包括有固定板、弹簧、顶板和密封垫，挡板内侧设有密封垫，密封垫上方对称式镶嵌有顶板，滤架上方一侧固定有固定板，固定板与顶板之间连接有弹簧。
3.如权利要求2所述的一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，其特征在于，还包括有蓄液框、单向进料管、单向出料管和气囊，进气管一侧设置有蓄液框，蓄液框下方连接有单向出料管，单向出料管的另一端与机体连接，蓄液框上方连接有单向进料管，蓄液框上方设有气囊，单向进料管位于气囊一侧。
4.如权利要求3所述的一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，其特征在于，还包括有雾化器，单向出料管末端安装有雾化器。
5.如权利要求4所述的一种PVD真空镀膜用真空腔检测机，其特征在于，还包括有密封圈，进气管与滤框连接处设置有密封圈。
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