[实用新型]一种晶片定向解理设备

权利要求书

1.一种晶片定向解理设备，其特征在于：包括支架(1)、往复转动轮组A、粗切割线(3)、X轴轨道(7)、滑套(5)、往复转动轮组B和细切割线(6)；

往复转动轮组A的两端安装在支架(1)上且可在支架(1)上沿着Y轴方向滑动，往复转动轮组A包括一对转动轮A(2)，转动轮A(2)的轮轴位于X轴方向，每条粗切割线(3)等间距的分布在两个转动轮A(2)上，粗切割线(3)在两个转动轮A(2)的作用下沿Z轴做往复运动，将粗切割线(3)之间的中心距命为L1；

所述的X轴轨道(7)的两端安装在支架(1)上且可在支架(1)上沿着Y轴方向滑动，所述的滑套(5)滑动套装在X轴轨道(7)上，所述的往复转动轮组B中的转动轮B(4)等间距的安装在滑套(5)的上方，转动轮B(4)的轮轴位于Y轴方向，所述的细切割线(6)分别缠绕在相对的两个转动轮B(4)上，并在两个转动轮B(4)的作用下沿Z轴做往复运动，将细切割线(6)之间的中心距命为L2，使L1＝L2。

2.根据权利要求1所述的一种晶片定向解理设备，其特征在于：所述的转动轮A(2)和X轴轨道(7)的两端分别带有滑块，分别称为滑块A(9)和滑块B(10)，转动轮A(2)与滑块A(9)转动配合，X轴轨道(7)与滑块B(10)固定配合，所述的支架(1)两端带有Y轴方向的两组滑轨，其中一组滑轨用于安装滑块A(9)，另一组滑轨用于安装滑块B(10)。

3.根据权利要求1所述的一种晶片定向解理设备，其特征在于：所述的粗切割线(3)、细切割线(6)均为金刚石砂线。