[实用新型]芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构

权利要求书

1.芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，包括底板(1)，所述底板(1)顶部的一侧固定连接有安装架(2)，其特征在于，所述安装架(2)的一侧的前方和后方均固定连接有滑轨(3)，两个所述滑轨(3)的表面之间滑动连接有与坩埚相连接的滑动座(4)，所述安装架(2)的一侧且位于两个滑轨(3)之间固定连接有固定块(11)，所述固定块(11)的底部转动连接有驱动滑动座(4)在滑轨(3)上平稳滑动的转动丝杆(10)；

所述滑动座(4)的内表面固定连接有连接块(13)，所述连接块(13)的表面与底板(1)的表面滑动连接，所述连接块(13)的上开设有与转动丝杆(10)相适配的螺纹孔，所述底板(1)的表面贯穿开设有贯穿槽(12)，所述贯穿槽(12)的内表面与连接块(13)的表面滑动连接。

2.根据权利要求1所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述连接块(13)的正面与背面均开设若干个包裹槽(15)，所述包裹槽(15)的内表面滚动连接有滚动珠(16)，所述贯穿槽(12)内壁的两侧均开设有滚珠槽(14)，所述滚珠槽(14)的内表面与滚动珠(16)的表面滚动连接。

3.根据权利要求1所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述滑动座(4)的一侧连接有支撑架(5)，所述支撑架(5)的顶部贯穿设置有波纹管装置(6)。

4.根据权利要求3所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述支撑架(5)的一侧固定连接有伺服电机(8)，所述波纹管装置(6)的内部设置有旋转轴，所述伺服电机(8)的输出端与旋转轴的表面之间设置有用于传送动力的传动机构(17)。

5.根据权利要求4所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述传动机构(17)包括位于伺服电机(8)输出端的主动轮以及位于旋转轴上的从动轮，所述主动轮和从动轮的表面之间设置有传动带。

6.根据权利要求1所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述底板(1)顶部的一侧通过电机架安装有驱动电机(9)，所述底板(1)的顶部固定连接有将驱动电机(9)的动力传动给转动丝杆(10)的齿轮箱(7)，所述转动丝杆(10)的底端贯穿齿轮箱(7)并延伸至齿轮箱(7)的内部，所述底板(1)的输出端贯穿并延伸至底板(1)的内部。