[实用新型]芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构

说明书

本实用新型公开芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，包括底板，所述底板顶部的一侧固定连接有安装架，所述安装架的一侧的前方和后方均固定连接有滑轨，两个所述滑轨的表面之间滑动连接有与坩埚相连接的滑动座，所述安装架的一侧且位于两个滑轨之间固定连接有固定块，利用螺纹孔与转动丝杆的配合关系能够带动支撑架在两个滑轨上进行移动，并且此时的包裹槽在滚珠槽与滚动珠之间进行滑动，即使滑动座与滑轨的配合具有一定的误差，滚珠槽对滚动珠的限位，此时的连接块并不能发生转动，因此滑动座能够进行平稳的滑动，并且通过贯穿槽与连接块之间的配合关系，能够提升其结构的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及坩埚升降技术领域，具体为芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构。

背景技术

坩埚升降机构是单晶炉中重要的部件之一，其升降的稳定性直接影响拉晶工艺及晶棒的质量。工作时坩埚升降机构中间的转轴上面安装有一个石英坩埚，内装有几十公斤或一百多公斤的一千几百度高温熔化状态的硅溶液，因此，只要工作时中间的坩埚转轴有一点微小的晃动都会在硅溶液的液面上反映出来，对坩埚升降机构旋转及上升过程中的稳定性要求非常苛刻。

中国专利公开了一种用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(公开号：CN215757725U)，该专利升降机构包括丝杠，所述丝杠与所述驱动器相连以由所述驱动器驱动转动，所述丝杠沿上下方向延伸且和所述滑座组件螺纹配合，但是滑座在丝杆的带动下，很容易在丝杆刚开始转动时带动滑座进行转动，从而使得坩埚的位置发生偏移，因此可能存在一定的精度误差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，利用螺纹孔与转动丝杆的配合关系能够带动支撑架在两个滑轨上进行移动，并且此时的包裹槽在滚珠槽与滚动珠之间进行滑动，即使滑动座与滑轨的配合具有一定的误差，滚珠槽对滚动珠的限位，此时的连接块并不能发生转动，因此滑动座能够进行平稳的滑动。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，包括底板，所述底板顶部的一侧固定连接有安装架，所述安装架的一侧的前方和后方均固定连接有滑轨，两个所述滑轨的表面之间滑动连接有与坩埚相连接的滑动座，所述安装架的一侧且位于两个滑轨之间固定连接有固定块，所述固定块的底部转动连接有驱动滑动座在滑轨上平稳滑动的转动丝杆；

所述滑动座的内表面固定连接有连接块，所述连接块的表面与底板的表面滑动连接，所述连接块的上开设有与转动丝杆相适配的螺纹孔，所述底板的表面贯穿开设有贯穿槽，所述贯穿槽的内表面与连接块的表面滑动连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述连接块的正面与背面均开设若干个包裹槽，所述包裹槽的内表面滚动连接有滚动珠，所述贯穿槽内壁的两侧均开设有滚珠槽，所述滚珠槽的内表面与滚动珠的表面滚动连接。

作为本实用新型进一步的方案：所述滑动座的一侧连接有支撑架，所述支撑架的顶部贯穿设置有波纹管装置。

作为本实用新型进一步的方案：所述支撑架的一侧固定连接有伺服电机，所述波纹管装置的内部设置有旋转轴，所述伺服电机的输出端与旋转轴的表面之间设置有用于传送动力的传动机构。

作为本实用新型进一步的方案：所述传动机构包括位于伺服电机输出端的主动轮以及位于旋转轴上的从动轮，所述主动轮和从动轮的表面之间设置有传动带。

作为本实用新型进一步的方案：所述底板顶部的一侧通过电机架安装有驱动电机，所述底板的顶部固定连接有将驱动电机的动力传动给转动丝杆的齿轮箱，所述转动丝杆的底端贯穿齿轮箱并延伸至齿轮箱的内部，所述底板的输出端贯穿并延伸至底板的内部。