[实用新型]晶圆取放对中装置

权利要求书

1.一种晶圆取放对中装置，其特征在于，包括取放机构和调整机构；

所述调整机构可移动的设于所述取放机构的两侧，用于调整所述取放机构上晶圆的位置；

所述取放机构用于取放晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，所述调整机构包括第一动力器、相对设置的第一连接件和调整件；

所述第一连接件的一端与所述第一动力器连接，以使所述第一动力器带动所述第一连接件移动；

所述调整件设于所述第一连接件的另一端，且位于所述取放机构的外侧边，用于抵接所述晶圆的侧壁以调整所述晶圆的位置。

3.根据权利要求2所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，所述调整件为轴承，所述轴承可转动的设于所述第一连接件的另一端。

4.根据权利要求2或3所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，所述取放机构包括第二动力器、相对设置的第二连接件和取放件；

所述第二连接件的一端与所述第二动力器连接，以使所述第二动力器带动所述第二连接件移动；

所述取放件设于所述第二连接件的另一端，且靠近所述调整件，用于取放晶圆。

5.根据权利要求4所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，还包括升降模组和连接臂；

所述升降模组上设有所述连接臂，所述升降模组用于带动所述连接臂升降；

所述第一动力器和所述第二动力器并排设置在所述连接臂上。

6.根据权利要求4所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，所述取放件为弧形吸盘，所述弧形吸盘与所述晶圆接触的表面开设有沟槽，所述沟槽内开设有通气孔，所述通气孔用于与真空通道连通。

7.根据权利要求6所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，所述调整机构还包括延伸件，所述延伸件与所述第一连接件的另一端连接，所述延伸件的两端分别设有所述调整件。

8.根据权利要求7所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，所述延伸件位于所述第一连接件和所述取放件之间。

9.根据权利要求1所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，还包括载具，所述载具与所述调整机构同心设置，所述载具用于承载所述晶圆。

10.根据权利要求4所述的晶圆取放对中装置，其特征在于，所述第一动力器和所述第二动力器均为夹爪气缸。