[实用新型]晶圆取放对中装置

说明书

本实用新型提供了一种晶圆取放对中装置，包括取放机构和调整机构，所述调整机构可移动的设于所述取放机构的两侧，用于调整所述取放机构上晶圆的位置，所述取放机构用于取放晶圆。本实用新型通过采用调整机构调整取放机构抓取晶圆时晶圆的位置，以使晶圆在运输过程中预先对中定位，提高了晶圆取放的效率。另外，使用本装置后不需要额外再增加物料缓存装置，减小了设备空间，并且适用于不同的晶圆传送机器人，从而降低了设备成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆取放对中装置。

背景技术

在半导体制程中，晶圆从某一工序加工完成传递至下一工序前需要预先对中，之后晶圆传送机器人从光学对中单元取片传送至下一加工工位。但是在某些情形下，预先对中的传递路径往往需要多个机器人交接，或者受机台调度限制传递需要等待，导致浪费了大量的时间以及降低了产能。

另外，在两种工位的载具上适用的机器人的机器手指不一样，例如光学对中单元的吸盘只能使用Y形手指上下料，而其他工位需要用I形手指上下料，机器人在两者间传递物料需要在缓存区放置晶圆后倒换手指，耗费时间，且多手指机器人价格较高，设备整体成本因此上升。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆取放对中装置，提高了晶圆取放的效率，降低了设备成本。

为实现上述目的，第一方面，本实用新型提供了一种晶圆取放对中装置，包括取放机构和调整机构；

所述调整机构可移动的设于所述取放机构的两侧，用于调整所述取放机构上晶圆的位置；

所述取放机构用于取放晶圆。

在一些实施例中，所述调整机构包括第一动力器、相对设置的第一连接件和调整件；

所述第一连接件的一端与所述第一动力器连接，以使所述第一动力器带动所述第一连接件移动；

所述调整件设于所述第一连接件的另一端，且位于所述取放机构的外侧边，用于抵接所述晶圆的侧壁以调整所述晶圆的位置。

在一些实施例中，所述调整件为轴承，所述轴承可转动的设于所述第一连接件的另一端。

在一些实施例中，所述取放机构包括第二动力器、相对设置的第二连接件和取放件；

所述第二连接件的一端与所述第二动力器连接，以使所述第二动力器带动所述第二连接件移动；

所述取放件设于所述第二连接件的另一端，且靠近所述调整件，用于取放晶圆。

在一些实施例中，还包括升降模组和连接臂；

所述升降模组上设有所述连接臂，所述升降模组用于带动所述连接臂升降；

所述第一动力器和所述第二动力器并排设置在所述连接臂上。

在一些实施例中，所述取放件为弧形吸盘，所述弧形吸盘与所述晶圆接触的表面开设有沟槽，所述沟槽内开设有通气孔，所述通气孔用于与真空通道连通。

在一些实施例中，所述调整机构还包括延伸件，所述延伸件与所述第一连接件的另一端连接，所述延伸件的两端分别设有所述调整件。

在一些实施例中，所述延伸件位于所述第一连接件和所述取放件之间。

在一些实施例中，还包括载具，所述载具与所述调整机构同心设置，所述载具用于承载所述晶圆。

在一些实施例中，所述第一动力器和所述第二动力器均为夹爪气缸。