[实用新型]一种晶体生长炉炉压稳定装置

权利要求书

1.一种晶体生长炉炉压稳定装置，包括主炉体(1)，其特征在于：所述主炉体(1)的内部固定连接有压力管(21)，所述压力管(21)的侧部固定连接有压力表(22)，所述压力管(21)的侧部固定连接有压力控制阀(23)，所述压力管(21)远离主炉体(1)的一端固定连接有净化管(24)，所述净化管(24)的顶端内部固定连接有雾状导液环(36)，所述净化管(24)的顶端固定连接有导液管(35)。

2.如权利要求1所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述净化管(24)的底端侧部固定连接有筒盖(26)，所述筒盖(26)的底部固定连接有过滤筒(25)，所述过滤筒(25)的内部中部固定连接有过滤板(27)，所述过滤板(27)的内部固定连接有通气管(30)，所述通气管(30)的顶部固定连接有活性炭吸附板(31)，所述活性炭吸附板(31)的顶部固定连接有吸气管(32)。

3.如权利要求2所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述过滤筒(25)的侧部底部固定连接有通液管(28)，所述通液管(28)的顶端固定连接有液体过滤环(29)，所述通液管(28)远离过滤筒(25)的一端固定连接有储液箱(33)，所述储液箱(33)的内部固定连接有水泵(34)，所述水泵(34)的内部固定连接有导液管(35)。

4.如权利要求1所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述主炉体(1)的内部固定连接有ZrO₂粉层(3)，所述主炉体(1)的底部固定连接有氧化铝底板(2)，所述ZrO₂粉层(3)的内部固定连接有反应坩埚(4)。

5.如权利要求1所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述主炉体(1)的侧部固定连接有轴固定柱(5)，所述轴固定柱(5)的内部活动连接有盖轴(6)，所述盖轴(6)的侧部固定连接有盖安装环(7)，所述盖安装环(7)的侧部固定连接有炉体盖(8)，所述炉体盖(8)与主炉体(1)的顶端内部卡接。

6.如权利要求5所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述炉体盖(8)的顶端固定连接有电机安装柱(11)，所述电机安装柱(11)的顶部固定连接有电机安装环(12)，所述电机安装环(12)的内部固定连接有升降电机(13)，所述升降电机(13)的内部固定连接有升降螺纹轴(14)，所述升降螺纹轴(14)的底部固定连接有升降限位块(15)。

7.如权利要求6所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述升降螺纹轴(14)的侧部螺纹连接有电机安装框(16)，所述电机安装框(16)卡接于电机安装柱(11)的内部，所述电机安装框(16)的底部固定连接有电机安装板(17)，所述电机安装板(17)的顶部固定连接有旋转电机(18)，所述旋转电机(18)的内部固定连接有旋转轴(19)，所述旋转轴(19)的底部固定连接有籽晶安装块(20)。

8.如权利要求5所述的一种晶体生长炉炉压稳定装置，其特征在于，所述盖轴(6)的一端固定连接有盖控制电机(9)，所述盖控制电机(9)的底部固定连接有电机座(10)。