[实用新型]一种晶体生长炉炉压稳定装置

说明书

本实用新型公开了一种晶体生长炉炉压稳定装置，涉及晶体生长炉装置技术领域；一种晶体生长炉炉压稳定装置，包括主炉体，主炉体的内部固定连接有压力管，压力管的侧部固定连接有压力表，压力管的侧部固定连接有压力控制阀，压力管远离主炉体的一端固定连接有净化管，净化管的顶端内部固定连接有雾状导液环，净化管的顶端固定连接有导液管，通过采用压力表查看内部压力，通过压力控制阀进行控制炉压，通过净化管进行吸气注气，通过导液管注液，通过雾状导液环使液体成雾状或滴状流下，将气体内部一些杂质吸附下降，通过采用活性炭吸附板进行初步吸附空气中的一些杂质，通过过滤板二次过滤空气中的一些杂质，避免杂质参与内部反应。

技术领域

本实用新型涉及晶体生长炉装置技术领域，具体为一种晶体生长炉炉压稳定装置。

背景技术

晶体生长方法及设备对制备出晶体的品质有至关重要的影响。常见的晶体生长方法有布里奇曼法、区域熔炼法、提拉法、热交换法、浇铸法等。当前实现大规模工业化生产的晶体主要为单晶硅、多晶硅，多晶硅铸锭炉的优化主要集中在铸锭炉尺寸的扩大及热场的优化设计，而当前热场的优化设计主要是从加热器形状、布置位置及保温隔热笼的优化设计等角度出发，但是晶体生长炉，在使用的过程中，内部气压需要控制，需要通过气阀注气，但空气中拥有一些其他杂质和气体，进入装置内部时，可能夹杂于反应晶体的内部，使品质下降，发明人提出一种晶体生长炉炉压稳定装置用于解决上述问题。

实用新型内容

为了解决晶体生长炉解压注气时夹杂其他杂质和气体等问题；本实用新型的目的在于提供一种晶体生长炉炉压稳定装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：一种晶体生长炉炉压稳定装置，包括主炉体，所述主炉体的内部固定连接有压力管，所述压力管的侧部固定连接有压力表，所述压力管的侧部固定连接有压力控制阀，所述压力管远离主炉体的一端固定连接有净化管，所述净化管的顶端内部固定连接有雾状导液环，所述净化管的顶端固定连接有导液管，所述净化管的底端侧部固定连接有筒盖，所述筒盖的底部固定连接有过滤筒，所述过滤筒的内部中部固定连接有过滤板，所述过滤板的内部固定连接有通气管，所述通气管的顶部固定连接有活性炭吸附板，所述活性炭吸附板的顶部固定连接有吸气管，所述过滤筒的侧部底部固定连接有通液管，所述通液管的顶端固定连接有液体过滤环，所述通液管远离过滤筒的一端固定连接有储液箱，所述储液箱的内部固定连接有水泵，所述水泵的内部固定连接有导液管。

优选地，所述主炉体的内部固定连接有ZrO2粉层，所述主炉体的底部固定连接有氧化铝底板，所述ZrO2粉层的内部固定连接有反应坩埚所述主炉体的侧部固定连接有轴固定柱，所述轴固定柱的内部活动连接有盖轴，所述盖轴的侧部固定连接有盖安装环，所述盖安装环的侧部固定连接有炉体盖，所述炉体盖与主炉体的顶端内部卡接，所述盖轴的一端固定连接有盖控制电机，所述盖控制电机的底部固定连接有电机座。

优选地，所述炉体盖的顶端固定连接有电机安装柱，所述电机安装柱的顶部固定连接有电机安装环，所述电机安装环的内部固定连接有升降电机，所述升降电机的内部固定连接有升降螺纹轴，所述升降螺纹轴的底部固定连接有升降限位块，所述升降螺纹轴的侧部螺纹连接有电机安装框，所述电机安装框卡接于电机安装柱的内部，所述电机安装框的底部固定连接有电机安装板，所述电机安装板的顶部固定连接有旋转电机，所述旋转电机的内部固定连接有旋转轴，所述旋转轴的底部固定连接有籽晶安装块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

1、通过采用压力表查看内部压力，通过压力控制阀进行控制炉压，通过净化管进行吸气注气，通过导液管注液，通过雾状导液环使液体成雾状或滴状流下，将气体内部一些杂质吸附下降，通过采用活性炭吸附板进行初步吸附空气中的一些杂质，通过过滤板二次过滤空气中的一些杂质，避免杂质参与内部反应；

2、通过采用升降电机通过控制反应结构的高度，通过电机安装环固定升降电机，通过采用电机安装框卡入于电机安装柱内侧，起到限位效果，通过旋转电机控制反应结构的旋转。

附图说明