[实用新型]双向笼式载具移载装置

权利要求书

1.一种双向笼式载具移载装置，其特征在于，包括：

移载腔室(100)、移动架(200)、货笼(160)；所述移载腔室(100)的两端设置开口，所述开口用于与其他腔室密封插接；所述移动架(200)沿横向方向可移动地设置在所述移载腔室(100)两端的所述开口之间，所述货笼(160)沿横向方向可移动地设置在所述移动架(200)上，所述货笼(160)用于装载待镀膜件；

升降机构(300)、移动架横移机构(400)；所述升降机构(300)设置在所述移载腔室(100)上，且所述升降机构(300)与所述移动架(200)连接，所述升降机构(300)用于驱动所述移动架(200)升降；所述移动架横移机构(400)设置在所述移载腔室(100)上，且所述移动架横移机构(400)与所述移动架(200)连接，所述移动架横移机构(400)用于驱动所述移动架(200)横移；

以及货笼横移机构(510)；所述货笼横移机构(510)包括依次传动连接的第一电机(101)、第一磁流体密封轴(110)、软轴(180)以及货笼横移传动组件(520)，所述第一电机(101)设置在所述移载腔室(100)的外部，所述第一磁流体密封轴(110)设置在所述移载腔室(100)上，所述货笼横移传动组件(520)设置在所述移动架(200)上，所述货笼横移传动组件(520)与所述货笼(160)连接，所述货笼横移传动组件(520)驱动所述货笼(160)横移。

2.根据权利要求1所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

所述货笼(160)包括设置在顶端的上托盘链轮(170)以及设置在底端的下托盘链轮(171)；所述货笼横移传动组件(520)包括设置在所述移动架(200)上的传动链轮、上下联动链条(700)、上传动链条(500)以及下传动链条(600)，所述上传动链条(500)设置在所述移动架(200)的顶端，且所述上传动链条(500)与所述上托盘链轮(170)传动连接，所述下传动链条(600)设置在所述移动架(200)的底端，且所述下传动链条(600)与所述下托盘链轮(171)传动连接，所述上下联动链条(700)与所述上传动链条(500)以及所述下传动链条(600)同步传动连接；

所述传动链轮驱动所述上下联动链条(700)传动，所述软轴(180)传动连接所述第一磁流体密封轴(110)与所述传动链轮。

3.根据权利要求2所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

所述上传动链条(500)以及所述下传动链条(600)均沿横向方向设置；所述上下联动链条(700)沿竖直方向设置。

4.根据权利要求1所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

所述升降机构(300)包括依次传动连接的升降电机(800)、第二磁流体密封轴(111)以及升降传动组件，所述升降电机(800)设置在所述移载腔室(100)的外部，所述第二磁流体密封轴(111)设置在所述移载腔室(100)上，所述升降传动组件设置在所述移载腔室(100)内，且所述升降传动组件与所述移动架(200)连接，所述升降传动组件驱动所述移动架(200)升降。

5.根据权利要求4所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

所述双向笼式载具移载装置还包括设置在所述移载腔室(100)内的底座，所述移动架(200)设置在所述底座上；所述升降传动组件包括与所述第二磁流体密封轴(111)传动连接的升降丝杆(150)，所述升降丝杆(150)设置在所述移载腔室(100)内，且所述升降丝杆(150)与所述底座连接，所述升降丝杆(150)转动的过程中驱动所述移动架(200)升降。

6.根据权利要求5所述的双向笼式载具移载装置，其特征在于：

所述底座沿横向方向设置有横移滑轨，所述移动架(200)可滑动地设置在所述横移滑轨上，且所述移动架(200)升降的过程中始终与所述横移滑轨滑动配合。