[实用新型]双向笼式载具移载装置

说明书

本实用新型的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，涉及真空镀膜领域。旨在能够改善真空环境下送料效率低的问题。双向笼式载具移载装置包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；移动架沿横向方向可移动地设置在移载腔室两端的开口之间，货笼沿横向方向可移动地设置在移动架上；升降机构用于驱动移动架升降；移动架横移机构用于驱动移动架横移；货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件。第一电机安装在移载腔室外部，通过第一磁流体密封轴将动力传递到移载腔室内部，加上内部机械结构实现真空镀膜机的笼式载具的自动上下料需求。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体而言，涉及一种双向笼式载具移载装置。

背景技术

现今市场上真空镀膜机的自动送料装置种类较少，用于真空腔室内部使用的送料机构更是少见。其原因在于传动结构方式受限，在真空环境下，气缸、电机等一般执行元件只能安装在真空室外部，通过密封结构，将动力传递到真空室内部。所以该机构较在大气环境下使用的送料装置结构复杂。随着镀膜行业的快速发展和广泛应用，对镀膜质量和效率提出了更高的要求。开发适用于真空室内使用的自动送料装置能提高镀膜的效率，从而降低镀膜成本并提高公司竞争力。

实用新型内容

本实用新型的目的包括，例如，提供了一种双向笼式载具移载装置，其能够改善真空环境下送料效率低的问题。

本实用新型的实施例可以这样实现：

本实用新型的实施例提供了一种双向笼式载具移载装置，包括移载腔室、移动架、货笼、升降机构、移动架横移机构以及货笼横移机构；所述移载腔室的两端设置开口，所述开口用于与其他腔室密封插接；所述移动架沿横向方向可移动地设置在所述移载腔室两端的所述开口之间，所述货笼沿横向方向可移动地设置在所述移动架上，所述货笼用于装载待镀膜件；

所述升降机构设置在所述移载腔室上，且所述升降机构与所述移动架连接，所述升降机构用于驱动所述移动架升降；所述移动架横移机构设置在所述移载腔室上，且所述移动架横移机构与所述移动架连接，所述移动架横移机构用于驱动所述移动架横移；

所述货笼横移机构包括依次传动连接的第一电机、第一磁流体密封轴、软轴以及货笼横移传动组件，所述第一电机设置在所述移载腔室的外部，所述第一磁流体密封轴设置在所述移载腔室上，所述货笼横移传动组件设置在所述移动架上，所述货笼横移传动组件与所述货笼连接，所述货笼横移传动组件驱动所述货笼横移。

另外，本实用新型的实施例提供的双向笼式载具移载装置还可以具有如下附加的技术特征：

可选地，所述货笼包括设置在顶端的上托盘链轮以及设置在底端的下托盘链轮；所述货笼横移传动组件包括设置在所述移动架上的传动链轮、上下联动链条、上传动链条以及下传动链条，所述上传动链条设置在所述移动架的顶端，且所述上传动链条与所述上托盘链轮传动连接，所述下传动链条设置在所述移动架的底端，且所述下传动链条与所述下托盘链轮传动连接，所述上下联动链条与所述上传动链条以及所述下传动链条同步传动连接；

所述传动链轮驱动所述上下联动链条传动，所述软轴传动连接所述第一磁流体密封轴与所述传动链轮。

可选地，所述上传动链条以及所述下传动链条均沿横向方向设置；所述上下联动链条沿竖直方向设置。

可选地，所述升降机构包括依次传动连接的升降电机、第二磁流体密封轴以及升降传动组件，所述升降电机设置在所述移载腔室的外部，所述第二磁流体密封轴设置在所述移载腔室上，所述升降传动组件设置在所述移载腔室内，且所述升降传动组件与所述移动架连接，所述升降传动组件驱动所述移动架升降。