[实用新型]一种双面研磨夹具有效

专利信息
申请号: 202320643808.6 申请日: 2023-03-24
公开(公告)号: CN219359125U 公开(公告)日: 2023-07-18
发明(设计)人: 荆凯;张慧;骆宏晨 申请(专利权)人: 北京亦盛精密半导体有限公司
主分类号: B24B37/28 分类号: B24B37/28;B24B37/34
代理公司: 北京东方芊悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11591 代理人: 凌云
地址: 102600 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 双面 研磨 夹具
【权利要求书】:

1.一种双面研磨夹具,包括研磨环(10),所述研磨环(10)的外周设置有与齿轮相啮合的轮齿(11),所述研磨环(10)的中间设置有与研磨环(10)呈偏心设置的放置孔(12),所述放置孔(12)为圆形,其特征在于:所述放置孔(12)的两侧对称设置有取料槽(14),所述取料槽(14)与放置孔(12)连通;所述研磨环(10)的环面被两个取料槽(14)分隔为位于研磨环(10)一侧的第一区和位于研磨环(10)另一侧的第二区,所述第二区处设置有第一排液孔(13),所述第一排液孔(13)的两侧分别设置有多个第二排液孔(15);位于第一排液孔(13)同一侧的第二排液孔(15),第二排液孔(15)的面积按照远离第一排液孔(13)的方向呈依次减小设置。

2.根据权利要求1所述的一种双面研磨夹具,其特征在于:所述第一排液孔(13)为圆形、椭圆形、正方形、正五边形、正六边形、正八边形中的一种。

3.根据权利要求2所述的一种双面研磨夹具,其特征在于:位于第一排液孔(13)同一侧的第二排液孔(15)设置有两个,分别标记为孔一(151)和孔二(152),所述孔一(151)设置在孔二(152)和第一排液孔(13)之间;所述第一排液孔(13)的圆心与放置孔(12)的圆心之间的间距为a,孔一(151)的圆心与放置孔(12)的圆心之间的间距为b,孔二(152)的圆心与放置孔(12)的圆心之间的间距为c,所述第一排液孔(13)的面积为x,所述孔一(151)的面积为y,所述孔二(152)的面积为z;

x/y=m·a/b,1≤m≤1.3;

x/z=n·a/c,1.2≤n≤1.5。

4.根据权利要求1所述的一种双面研磨夹具,其特征在于:所述取料槽(14)为半椭圆形结构。

5.根据权利要求2所述的一种双面研磨夹具,其特征在于:位于第一排液孔(13)同一侧的第二排液孔(15)设置有两个,分别标记为孔一(151)和孔二(152),所述孔一(151)设置在孔二(152)和第一排液孔(13)之间;所述孔一(151)和孔二(152)均为椭圆形,所述孔一(151)的长轴与孔二(152)的长轴之间的夹角为56°。

6.根据权利要求3或5所述的一种双面研磨夹具,其特征在于:所述第一排液孔(13)处嵌设有金属环一(161),所述金属环一(161)与研磨环(10)胶接;所述孔一(151)处嵌设有金属环二(162),所述金属环二(162)与研磨环(10)胶接;所述孔二(152)处嵌设有金属环三(163),所述金属环三(163)与研磨环(10)胶接。

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