[实用新型]一种双偏振照明模组有效
| 申请号： | 202320747421.5 | 申请日： | 2023-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN219302258U | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 顾文斐;蔡雄飞 | 申请（专利权）人： | 苏州矽行半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G02B27/28;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 照明 模组 | ||
【权利要求书】：
1.一种双偏振照明模组，其特征在于：双偏振照明模组包括依次布置的光源(1)、准直透镜(2)、双偏振单元(3)和光瞳组件(4)；
其中，双偏振单元(3)用于将光源(1)经准直透镜(2)的出射光偏振调节为两组垂直的偏振光；
所述光瞳组件(4)用于将从双偏振单元(3)出射的两组垂直的偏振光调节照射给待测晶圆。
2.根据权利要求1所述的双偏振照明模组，其特征在于：
所述双偏振单元(3)采用沃勒斯顿偏振器，所述沃勒斯顿偏振器包括两个正交的双折射率棱镜，两棱镜的晶轴垂直布置。
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