[实用新型]一种双偏振照明模组

说明书

本实用新型公开了一种双偏振照明模组，属于半导体光学成像领域，双偏振照明模组包括依次布置的光源、准直透镜、双偏振单元和光瞳组件；其中，双偏振单元用于将光源经准直透镜的出射光偏振调节为两组垂直的偏振光；所述光瞳组件用于将从双偏振单元出射的两组垂直的偏振光调节照射给待测晶圆；本申请的方案使用沃勒斯顿偏振器实现同时的水平/垂直偏振照明，提高了成像效率，可在晶圆级检测领域或光刻等领域推广应用。

技术领域

本实用新型属于半导体光学成像领域，具体涉及一种双偏振照明模组。

背景技术

随着半导体技术的发展，对晶圆检测设备的吞吐量要求越来越高。目前的宽光谱晶圆明场检测系统一般使用激光激发的等离子光源。该光源发出的光经过均匀化后，被送入照明光学系统，该系统提供可调节的瞳孔和视场平面以及使用线栅偏振器和光谱滤波器来优化照明条件。照明器发出的光被引导到一个反射折光式显微物镜(CMO)，并投射到晶圆平面上。从晶圆反射回来的光通过一个分光器被送入成像路径。在成像平面上，与台架同步的时延积分(TDI)相机提供放大的图像，用于高速晶圆检测。

偏振照明已用于有图案晶圆上的关键缺陷检测，但仍不能满足当前多照明角度和光谱的同时检测不同关键缺陷，如多照明角度下和宽光谱下的桥接缺陷及开路缺陷等。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种双偏振照明模组，其能解决传统显微物镜限制半导体量检测设备成像作业效率受限的问题。

设计原理：传统的晶圆缺陷检测，如桥接缺陷最好用与线图形垂直的偏振光(H-Pol)来捕捉，而开路缺陷最好用与线图形平行的偏振光(V-Pol)来捕捉。基于同时检测且减少元件的原则，本设计方案采用沃勒斯顿偏振器(Wollaston polarize)来同时提供两种偏振光，以期能够单次检测对多种缺陷进行采集；具体方案如下。

一种双偏振照明模组，双偏振照明模组包括依次布置的光源、准直透镜、双偏振单元和光瞳组件；其中，双偏振单元用于将光源经准直透镜的出射光偏振调节为两组垂直的偏振光；所述光瞳组件用于将从双偏振单元出射的两组垂直的偏振光调节照射给待测晶圆。

进一步的，所述双偏振单元采用沃勒斯顿偏振器，所述沃勒斯顿偏振器包括两个正交的双折射率棱镜，两棱镜的晶轴垂直布置。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：本申请的方案使用沃勒斯顿偏振器实现同时的水平/垂直偏振照明，提高了作业吞吐量，可在晶圆级检测领域或光刻等领域推广应用。

附图说明

图1为本申请双偏振照明模组的示意图。

图中：

1、光源；

2、准直透镜；

3、双偏振单元；

4、光瞳组件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种双偏振照明模组，参见图1，双偏振照明模组包括依次布置的光源1、准直透镜2、双偏振单元3和光瞳组件4。

其中，双偏振单元3用于将光源1经准直透镜2的出射光偏振调节为两组垂直的偏振光。

所述光瞳组件4用于将从双偏振单元3出射的两组垂直的偏振光调节照射给待测晶圆。