[实用新型]一种化学机械抛光系统有效
| 申请号： | 202320792102.6 | 申请日： | 2023-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN219380319U | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 岳智伟;张云飞;王振高;周斌 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 系统 | ||
1.一种化学机械抛光系统，其特征在于，包括前置单元和机台主体，所述前置单元设置于所述机台主体的侧部；所述机台主体配置有气液箱，所述气液箱的数量至少一个，其以抽拉的方式设置于机台主体。
2.如权利要求1所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述气液箱配置有把手，以将气液箱的至少部分抽拉至机台主体的外侧。
3.如权利要求1所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述气液箱配置有气液管路，所述气液管路至少部分延伸甚至于所述气液箱的外侧。
4.如权利要求3所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述气液管路的至少部分设置有波纹段，以调节所述气液管路的长度。
5.如权利要求1所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述气液箱配置有限位机构，所述限位机构能够将所述气液箱保持在机台主体的外侧。
6.如权利要求5所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述限位机构设置于气液箱的内侧，其能够沿铰接点朝向气液箱的外侧转动。
7.如权利要求6所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述限位机构包括支撑杆，其铰接于所述气液箱的内部；所述支撑杆能够绕交接点转动，使得支撑杆的端部位于所述气液箱的外侧。
8.如权利要求7所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述支撑杆的数量为一对，其对称设置于所述气液箱的内侧壁。
9.如权利要求7所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述限位机构还包括防护套，所述防护套可拆卸地设置于所述支撑杆的端部。
10.如权利要求9所述的化学机械抛光系统，其特征在于，所述防护套由具有柔性的非金属材料制成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华海清科股份有限公司，未经华海清科股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202320792102.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可切换模式的逆变电路和逆变系统
- 下一篇：一种甲醛检测仪夹持支架
