[实用新型]舟结构

说明书

本实用新型公开了一种舟结构，该舟结构包括舟本体和支撑组件，支撑组件成对设置，且设在舟本体相对设置的两侧，每个支撑组件均设有支撑弧面，成对设置的支撑组件的支撑弧面分别止抵于片材的两侧，且与片材线接触。在实际工作过程中，片材的两侧止抵于支撑弧面上，且支撑弧面与片材为线接触，这种接触方式在确保支撑稳定性的情况下，降低支撑组件与片材的接触面积，使得流经片材表面气流更均匀且能覆盖整个片材所需反应的面积，降低了加工过程中片材的边缘出现气流印和舟齿印的几率，从而使得硅片上镀膜或者沉积层厚度更均匀，电池片的方阻值能处于最佳值范围，以提升加工良率。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种舟结构。

背景技术

半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力并通入工艺气体源的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为石英小舟、石墨舟、小舟或者花篮。

在现有光伏的设备中，小舟的结构如下图1-图2所示，小舟包括两个端板1和连接于两个端板1之间的多个槽棒2，槽棒2上设有凹槽21，在工作过程中，硅片3需要插入凹槽21中，即现有的小舟通过凹槽21来承放硅片3。

半导体及泛半导体行业的硅片3加工通常在热场内会通入工艺气体，小舟的原材料通常为石英碳化硅等耐高温耐腐蚀的材料。硅片3承载于槽棒2的凹槽21内，硅片3四周边与凹槽21侧壁接触处通常会出现气流印、舟齿印等问题，给硅片3镀膜或沉积等工艺带来影响，降低了制造良率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种舟结构，该舟结构与片材的边缘为线接触，降低了加工过程中片材的边缘出现气流印和舟齿印的几率，提升了制造良率。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种舟结构，包括舟本体和支撑组件，所述支撑组件成对设置，且设在所述舟本体相对设置的两侧，每个所述支撑组件均设有支撑弧面，成对设置的所述支撑组件的所述支撑弧面分别止抵于片材的两侧，且与所述片材线接触。

在一些实施例中，所述支撑组件包括支撑块，且支撑块固定连接于所述舟本体。

在一些实施例中，所述舟本体上设有安装平面，所述支撑块具有与所述支撑弧面连接的安装面，所述安装面与所述安装平面贴合。

在一些实施例中，所述舟本体上设有配合槽，所述支撑组件包括偏心轮和轮轴，所述轮轴的两端连接于所述配合槽的两个侧壁，且所述偏心轮安装于所述轮轴。

在一些具体的实施例中，所述偏心轮上与所述轮轴配合的轴孔在所述偏心轮的周面上形成缺口。

在一些具体的实施例中，所述支撑组件还包括限位件，所述限位件安装于所述舟本体且用于限位所述偏心轮。

在一些更具体的实施例中，所述限位件包括限位轴，所述限位轴的两端连接于所述配合槽的两个侧壁，且所述限位轴止抵于所述偏心轮的周面。

在一些实施例中，所述舟本体包括端板和支撑柱，所述支撑柱成对设置，所述端板连接于所述支撑柱的两端，每个所述支撑柱上均设有沿其高度方向间隔设置的多个支撑组件。

在一些实施例中，所述支撑柱上设有把手。

在一些实施例中，所述端板上设有卡接凸和/或者卡接槽，一个所述舟结构上的卡接凸能够卡接在另一个所述舟结构的卡接槽内。