[实用新型]一种CVD工具真空镀膜机有效
| 申请号： | 202320902656.7 | 申请日： | 2023-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN219342279U | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 刘振波;陈宪纬;李滔;江玉卿 | 申请（专利权）人： | 深圳海容高新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/458 |
| 代理公司： | 广东亚太科恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44902 | 代理人： | 胡仕国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 cvd 工具 真空镀膜 | ||
1.一种CVD工具真空镀膜机，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)的内部设置有夹持机构(24)，所述夹持机构(24)包括有转动轴(16)、连接块(17)和挡块(19)，所述转动轴(16)的一端与主体(1)内部的右侧转动连接，所述连接块(17)的右侧与转动轴(16)的另一端固定连接，所述连接块(17)的左侧开设有滑槽(18)，所述挡块(19)的右侧与滑槽(18)的内壁固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种CVD工具真空镀膜机，其特征在于：所述主体(1)的底部设置有稳定机构(23)，所述稳定机构(23)包括有支撑架(4)、固定螺栓(5)和第一底座(9)，所述支撑架(4)的上表面与主体(1)的底部固定连接，所述固定螺栓(5)的外表面与支撑架(4)的内部螺纹连接，所述第一底座(9)的右侧与支撑架(4)的左侧固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种CVD工具真空镀膜机，其特征在于：所述滑槽(18)内部的右侧固定安装有连接弹簧(20)，所述连接弹簧(20)的一端固定安装有抵接板(21)，所述抵接板(21)的左侧固定安装有连接垫(22)。
4.根据权利要求1所述的一种CVD工具真空镀膜机，其特征在于：所述主体(1)的正面卡接有卡接板(2)，所述卡接板(2)的正面开设有观察窗(3)，所述主体(1)的左侧固定安装有第二底座(11)，所述第二底座(11)的底部固定安装有连接杆(10)。
5.根据权利要求1所述的一种CVD工具真空镀膜机，其特征在于：所述主体(1)的左侧固定安装有电机(12)，所述电机(12)的输出轴与加热丝(13)的一端固定连接，所述主体(1)内部的底端固定安装有承接杆(14)，所述承接杆(14)的一端固定安装有热熔盘(15)。
6.根据权利要求2所述的一种CVD工具真空镀膜机，其特征在于：所述支撑架(4)的右侧固定安装有承接板(6)，所述承接板(6)的上表面固定安装有真空机(7)，所述真空机(7)的上表面固定安装有抽气管(8)。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
