[实用新型]一种CVD工具真空镀膜机

说明书

本实用新型涉及CVD镀膜技术领域，且公开了一种CVD工具真空镀膜机，包括主体，所述主体的内部设置有夹持机构，所述夹持机构包括有转动轴、连接块和挡块，所述转动轴的一端与主体内部的右侧转动连接。该种CVD工具真空镀膜机，通过真空机和抽气管的作用，使得主体内部的空气被抽出，在抽出内部的空气后，在通过电机的作用，可以带动加热丝对主体的内部进行相应的加热，在加热时，可以对热熔盘内部的镀膜原料进行相应的加热，在通过主体内部的左侧固转动安装的转动轴，有效的解决了如何对镀膜件进行夹持的问题，可以达到更加便捷的进行镀膜的效果，同时，可以提高相应的镀膜效率，也可以在使用时，提高整体的产品合格率，利于在实际中的使用。

技术领域

本实用新型涉及CVD镀膜技术领域，具体为一种CVD工具真空镀膜机。

背景技术

CVD指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其他气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程，在进行制造时，需要对其进行相应的镀膜，以便在实际中的使用。

根据专利号为CN217459589U的一种CVD镀膜机，该方案中解决了如何在移动时保证该装置作业震动不影响设备运行的问题。

但是在实际的使用过程中，依然存在不能够有效的镀膜件进行夹持转动镀膜的问题，会导致在使用时，造成镀膜的效率较低，也会在镀膜时降低产品整体的合格率，不利于在实际中的使用，降低了使用效果，同时，在实际的使用过程中，依然存在不能够有效的对该转装置进行稳定使用的问题，会导致在使用时，造成在使用时，容易造成倒塌，会对该装置造成一定的损坏，会增加相应的更换维修使用成本，降低了该装置的适应范围。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种CVD工具真空镀膜机，具备能够稳定夹持镀膜件和便于更加稳定使用的优点，解决了背景技术中提出的问题。

本实用新型提供如下技术方案：一种CVD工具真空镀膜机，包括主体，所述主体的内部设置有夹持机构，所述夹持机构包括有转动轴、连接块和挡块，所述转动轴的一端与主体内部的右侧转动连接，所述连接块的右侧与转动轴的另一端固定连接，所述连接块的左侧开设有滑槽，所述挡块的右侧与滑槽的内壁固定连接。

优选的，所述主体的底部设置有稳定机构，所述稳定机构包括有支撑架、固定螺栓和第一底座，所述支撑架的上表面与主体的底部固定连接，所述固定螺栓的外表面与支撑架的内部螺纹连接，所述第一底座的右侧与支撑架的左侧固定连接。

优选的，所述滑槽内部的右侧固定安装有连接弹簧，所述连接弹簧的一端固定安装有抵接板，所述抵接板的左侧固定安装有连接垫。

优选的，所述主体的正面卡接有卡接板，所述卡接板的正面开设有观察窗，所述主体的左侧固定安装有第二底座，所述第二底座的底部固定安装有连接杆。

优选的，所述主体的左侧固定安装有电机，所述电机的输出轴与加热丝的一端固定连接，所述主体内部的底端固定安装有承接杆，所述承接杆的一端固定安装有热熔盘。

优选的，所述支撑架的右侧固定安装有承接板，所述承接板的上表面固定安装有真空机，所述真空机的上表面固定安装有抽气管。

与现有技术对比，本实用新型具备以下有益效果：