[实用新型]一种坩埚转位装置

权利要求书

1.一种坩埚转位装置，包括坩埚组件（1）、主轴（2）和抽气组件（3），所述坩埚组件（1）转动连接在主轴（2）顶端，所述抽气组件（3）安装在主轴（2）的外侧，其特征在于，所述主轴（2）内部设置有气动杆（21），所述坩埚组件（1）包括承重盘（13），所述气动杆（21）与承重盘（13）底端连接固定。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述坩埚组件（1）还包括坩埚（11）、坩埚底座（12）、支撑盘（14）和坩埚盖（15），所述坩埚（11）安装在坩埚底座（12）上，所述坩埚底座（12）安装在承重盘（13）上，所述支撑盘（14）安装在承重盘（13）底端，且所述支撑盘（14）固定在主轴（2）顶端外侧，所述坩埚盖（15）设置在坩埚（11）上，所述坩埚盖（15）上安装有把手（151）。

3.根据权利要求1所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述抽气组件（3）包括机械泵（31）、连接室（32）和真空室（33），所述机械泵（31）安装在主轴（2）外侧，所述连接室（32）转动安装在机械泵（31）外侧，所述真空室（33）安装在连接室（32）底端。

4.根据权利要求3所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述真空室（33）一侧安装有进气口（331），且所述真空室（33）另一侧安装有排气口（332）。

5.根据权利要求1所述的坩埚转位装置，其特征在于，所述主轴（2）底端连接有转动组件（4），所述转动组件（4）包括联轴器（41），所述联轴器（41）顶端内部与主轴（2）底端连接固定。

6.根据权利要求5所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述转动组件（4）还包括减速器（42）和电机（43），所述减速器（42）安装在电机（43）上，所述减速器（42）顶端设置有传动轴（421），所述传动轴（421）顶端与联轴器（41）底端内部连接固定。

7.根据权利要求6所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述联轴器（41）外侧设置有固定组件（5），所述固定组件（5）包括铁架（51），所述铁架（51）顶端固定在真空室（33）底端，且所述铁架（51）底端固定在减速器（42）上。

8.根据权利要求7所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述固定组件（5）还包括固定盘（52）、固定铁片（53）和固定夹（54）所述固定盘（52）安装在联轴器（41）底端，所述固定铁片（53）安装在铁架（51）一侧，且所述铁架（51）另一侧安装有固定夹（54）。