[实用新型]一种坩埚转位装置

说明书

本实用新型公开了一种坩埚转位装置，包括坩埚组件、主轴和抽气组件，坩埚组件转动连接在主轴顶端，抽气组件安装在主轴的外侧，其特征在于，主轴内部设置有气动杆，坩埚组件包括承重盘，气动杆与承重盘底端连接固定。坩埚组件还包括坩埚、坩埚底座、支撑盘和坩埚盖，坩埚安装在坩埚底座上，坩埚底座安装在承重盘上，支撑盘安装在承重盘底端，且支撑盘固定在主轴顶端外侧，坩埚盖设置在坩埚上，坩埚盖上安装有把手。本申请具有功能更灵活、操作方便，配套大型镀膜设备等较好的优点。

技术领域

本实用新型属于转位运动装置的技术领域，具体涉及一种坩埚转位装置。

背景技术

在真空设备镀膜技术上，坩埚转位是指利用电机通过减速器减速，再通过联轴器和主轴把传动力矩传送到上方坩埚处，使坩埚得到转位，这是一种原动力在大气环境下往真空环境中传输动力使坩埚穴位转动的结构系统，在此过程中，主轴作用是传动，把大气压下的动力传送到真空环境中，这种装置需要在动态转动中设置密封结构，目前对坩埚转位装置的密封方式有磁流体密封和普通橡胶圈密封两种密封方式。

然而，现有的坩埚转位装置只能设置一种密封方式，且不能对两种密封方式进行互换，在使用上非常局限。本申请的目的在于设计出便于更换密封方式的坩埚转位装置，具体为一种坩埚转位装置。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种坩埚转位装置，用以解决现有技术中存在的上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种坩埚转位装置，包括坩埚组件、主轴和抽气组件，所述坩埚组件转动连接在主轴顶端，所述抽气组件安装在主轴的外侧，其特征在于，所述主轴内部设置有气动杆，所述坩埚组件包括承重盘，所述气动杆与承重盘底端连接固定。

优选的，所述坩埚组件还包括坩埚、坩埚底座、支撑盘和坩埚盖，所述坩埚安装在坩埚底座上，所述坩埚底座安装在承重盘上，所述支撑盘安装在承重盘底端，且所述支撑盘固定在主轴顶端外侧，所述坩埚盖设置在坩埚上，所述坩埚盖上安装有把手。

优选的，所述抽气组件包括机械泵、连接室和真空室，所述机械泵安装在主轴外侧，所述连接室转动安装在机械泵外侧，所述真空室安装在连接室底端。

优选的，所述真空室一侧安装有进气口，且所述真空室另一侧安装有排气口。

优选的，所述主轴底端连接有转动组件，所述转动组件包括联轴器，所述联轴器顶端内部与主轴底端连接固定。

优选的，所述转动组件还包括减速器和电机，所述减速器安装在电机上，所述减速器顶端设置有传动轴，所述传动轴顶端与联轴器底端内部连接固定。

优选的，所述联轴器外侧设置有固定组件，所述固定组件包括铁架，所述铁架顶端固定在真空室底端，且所述铁架底端固定在减速器上。

优选的，所述固定组件还包括固定盘、固定铁片和固定夹所述固定盘安装在联轴器底端，所述固定铁片安装在铁架一侧，且所述铁架另一侧安装有固定夹。

有益效果：本装置的坩埚组件均为螺栓进行连接，当需要更换其他种类的坩埚时，只需拆卸螺栓更换需要的坩埚，组装好即可；

本装置采用支撑盘和称重盘的设计，能够承受大质量的坩埚，从而匹配大型镀膜设备；

本装置在结构设计上大多采用螺栓连接，在需要更换密封方式时比较方便；

本装置对转动组件和抽气组件利用固定组件连接，保证整体结构的稳定性。

附图说明

图1为本申请实施例的结构示意图。

图2为本申请实施例中坩埚组件的结构示意图。

图3为本申请实施例中抽气组件的结构示意图。

图4为本申请实施例中转动组件的结构示意图。