[实用新型]一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构

权利要求书

1.一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构，其特征在于：包括基底（1）、第一组电极、谐振子、第二组电极；

所述第一组电极包括第一圆形电极（201）、四根径向引线A（202）、十六个弧形内层电极（203）、十六根径向引线B（204）、十六个弧形外层电极（205）、十六根径向引线C（206）；第一圆形电极（201）、四根径向引线A（202）、十六个弧形内层电极（203）、十六根径向引线B（204）、十六个弧形外层电极（205）、十六根径向引线C（206）均溅射于基底（1）的上表面；四根径向引线A（202）围绕第一圆形电极（201）的中心线对称分布，且四根径向引线A（202）的内端端面均与第一圆形电极（201）的侧面连接为一体；十六个弧形内层电极（203）围绕第一圆形电极（201）的中心线对称分布；十六根径向引线B（204）围绕第一圆形电极（201）的中心线对称分布，且十六根径向引线B（204）的内端端面与十六个弧形内层电极（203）的外侧面中央一一对应地连接为一体；十六个弧形外层电极（205）围绕第一圆形电极（201）的中心线对称分布，且十六个弧形外层电极（205）的内侧面中央与十六根径向引线B（204）的外端端面一一对应地连接为一体；十六根径向引线C（206）围绕第一圆形电极（201）的中心线对称分布，且十六根径向引线C（206）的内端端面与十六个弧形外层电极（205）的外侧面中央一一对应地连接为一体；

所述谐振子包括圆形锚点（301）、环槽形内层壳体（302）、环形内层圈板（303）、环槽形外层壳体（304）、环形外层圈板（305）；环槽形内层壳体（302）的径向截面呈开口向下的椭圆弧形，且环槽形内层壳体（302）的内边缘与圆形锚点（301）的边缘连接为一体；环形内层圈板（303）的内边缘与环槽形内层壳体（302）的外边缘连接为一体，且环形内层圈板（303）的下表面高于圆形锚点（301）的下表面；环槽形外层壳体（304）的径向截面呈开口向下的椭圆弧形，且环槽形外层壳体（304）的内边缘与环形内层圈板（303）的外边缘连接为一体；环形外层圈板（305）的内边缘与环槽形外层壳体（304）的外边缘连接为一体，且环形外层圈板（305）的下表面与环形内层圈板（303）的下表面齐平；

所述第二组电极包括第二圆形电极（401）、环槽形内层电极（402）、环形内层电极（403）、环槽形外层电极（404）、环形外层电极（405）；第二圆形电极（401）溅射于圆形锚点（301）的下表面，且第二圆形电极（401）的下表面与第一圆形电极（201）的上表面固定；环槽形内层电极（402）溅射于环槽形内层壳体（302）的内表面，且环槽形内层电极（402）的内边缘与第二圆形电极（401）的边缘连接为一体；环形内层电极（403）溅射于环形内层圈板（303）的下表面，且环形内层电极（403）的内边缘与环槽形内层电极（402）的外边缘连接为一体；环形内层电极（403）的下表面同时与十六个弧形内层电极（203）的上表面对应，且环形内层电极（403）的下表面与十六个弧形内层电极（203）的上表面之间留有间隙；环槽形外层电极（404）溅射于环槽形外层壳体（304）的内表面，且环槽形外层电极（404）的内边缘与环形内层电极（403）的外边缘连接为一体；环形外层电极（405）溅射于环形外层圈板（305）的下表面，且环形外层电极（405）的内边缘与环槽形外层电极（404）的外边缘连接为一体；环形外层电极（405）的下表面同时与十六个弧形外层电极（205）的上表面对应，且环形外层电极（405）的下表面与十六个弧形外层电极（205）的上表面之间留有间隙。

2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构，其特征在于：所述基底（1）、谐振子均采用玻璃制成；所述第一组电极、第二组电极均采用金属制成。

3.根据权利要求1所述的一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构，其特征在于：所述基底（1）呈正方形。

4.根据权利要求1所述的一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构，其特征在于：第二圆形电极（401）的下表面与第一圆形电极（201）的上表面通过导电胶固定。