[实用新型]一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构

说明书

本实用新型涉及微壳体谐振陀螺，具体是一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构，其包括基底、第一组电极、谐振子、第二组电极，所述第一组电极包括第一圆形电极、四根径向引线A、十六个弧形内层电极、十六根径向引线B、十六个弧形外层电极、十六根径向引线C，所述谐振子包括圆形锚点、环槽形内层壳体、环形内层圈板、环槽形外层壳体、环形外层圈板，所述第二组电极包括第二圆形电极、环槽形内层电极、环形内层电极、环槽形外层电极、环形外层电极，其有效解决了现有微壳体谐振陀螺灵敏度低、加工工艺复杂的问题，适用于航空、航天、航海、工业、农业、交通等领域。

技术领域

本实用新型涉及微壳体谐振陀螺，具体是一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构。

背景技术

微壳体谐振陀螺因具有微型化、高精度、低成本等优点，而被广泛应用于航空、航天、航海、工业、农业、交通等领域。微壳体谐振陀螺的具体工作原理如下：当没有角速度输入时，微壳体谐振陀螺的谐振子在驱动模态下工作，微壳体谐振陀螺的输岀为零。当有角速度输入时，微壳体谐振陀螺的谐振子在检测模态下工作，微壳体谐振陀螺实时测岀输入角速度。然而在实际工作中，现有微壳体谐振陀螺由于自身结构所限，普遍存在灵敏度低、加工工艺复杂的问题。为此有必要发明一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构，以解决现有微壳体谐振陀螺灵敏度低、加工工艺复杂的问题。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有微壳体谐振陀螺灵敏度低、加工工艺复杂的问题，提供了一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构。

本实用新型是采用如下技术方案实现的：

一种高灵敏度的微壳体谐振陀螺结构，包括基底、第一组电极、谐振子、第二组电极；

所述第一组电极包括第一圆形电极、四根径向引线A、十六个弧形内层电极、十六根径向引线B、十六个弧形外层电极、十六根径向引线C；第一圆形电极、四根径向引线A、十六个弧形内层电极、十六根径向引线B、十六个弧形外层电极、十六根径向引线C均溅射于基底的上表面；四根径向引线A围绕第一圆形电极的中心线对称分布，且四根径向引线A的内端端面均与第一圆形电极的侧面连接为一体；十六个弧形内层电极围绕第一圆形电极的中心线对称分布；十六根径向引线B围绕第一圆形电极的中心线对称分布，且十六根径向引线B的内端端面与十六个弧形内层电极的外侧面中央一一对应地连接为一体；十六个弧形外层电极围绕第一圆形电极的中心线对称分布，且十六个弧形外层电极的内侧面中央与十六根径向引线B的外端端面一一对应地连接为一体；十六根径向引线C围绕第一圆形电极的中心线对称分布，且十六根径向引线C的内端端面与十六个弧形外层电极的外侧面中央一一对应地连接为一体；

所述谐振子包括圆形锚点、环槽形内层壳体、环形内层圈板、环槽形外层壳体、环形外层圈板；环槽形内层壳体的径向截面呈开口向下的椭圆弧形，且环槽形内层壳体的内边缘与圆形锚点的边缘连接为一体；环形内层圈板的内边缘与环槽形内层壳体的外边缘连接为一体，且环形内层圈板的下表面高于圆形锚点的下表面；环槽形外层壳体的径向截面呈开口向下的椭圆弧形，且环槽形外层壳体的内边缘与环形内层圈板的外边缘连接为一体；环形外层圈板的内边缘与环槽形外层壳体的外边缘连接为一体，且环形外层圈板的下表面与环形内层圈板的下表面齐平；