[其他]碳化硅(SiC)二极管温度传感器无效
申请号: | 85109140 | 申请日: | 1985-12-12 |
公开(公告)号: | CN85109140B | 公开(公告)日: | 1988-06-29 |
发明(设计)人: | 綦明刚;周嶅;邱莉;吴铁;张咏紫;邹小兴 | 申请(专利权)人: | 湖北省襄樊市机电研究所;国家建材工业局建筑材料科学研究院玻璃科学研究所 |
主分类号: | H01L35/00 | 分类号: | H01L35/00;G01K7/02 |
代理公司: | 襄樊市专利事务所 | 代理人: | 孟景前,樊灵芬 |
地址: | 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 碳化硅 sic 二极管 温度传感器 | ||
1、一种碳化硅二极管温度传感器,包括一个碳化硅PN结、钨膜和金膜做复合膜电极,用两段金丝做引线,铂丝或镍丝做后引线,氧化铝瓷管做后引线绝缘固定子,其特征在于以P型碳化硅单晶做基底外延N型层时,同时使氮原子扩散到P型基底中去;或者以N型碳化硅单晶做基底时,外延的P型层厚度小于0.1毫米;整个PN结用一种微晶玻璃包封。
2、按照权利要求1所述的碳化硅二极管温度传感器,其特征在于PN结的P型层中氮原子掺杂是用纯氮气,在外延N型层的同时,由外延面和另一面同时扩散进入P型基底中去。
3、按照权利要求1所述的碳化硅二极管温度传感器,其特征在于包封PN结所用的微晶玻璃组份范围(wt%)是:
ZnO25~55MgO2~7
B2O315~25BaO2~7
SiO28~27SnO21~3
Al2O33~15Cr2O30~1
最佳组份范围(wt%)是:
ZnO30~50MgO4~5
B2O320BaO4~5
SiO210~25SnO22~3
Al2O35~12Cr2O30~1
4、按照权利要求1所述的碳化硅二极管温度传感器,其特征在于微晶玻璃的包封温度范围是650~800℃,最佳包封温度范围为650~750℃。
5、按照权利要求1所述的碳化硅二极管温度传感器,其特征在于微晶玻璃的包封时间范围是1~60分钟,最佳包封时间是5~40分钟。
6、按照权利要求1所述的碳化硅二极管温度传感器,其特征在于微晶玻璃的包封气氛为空气。
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