[发明专利]含有环状氟化磺酸盐表面活性剂蚀刻溶液无效

专利信息
申请号: 86103055.9 申请日: 1986-04-29
公开(公告)号: CN1012071B 公开(公告)日: 1991-03-20
发明(设计)人: 罗纳德·詹姆斯·霍普金斯;伊万·高尔·汤姆斯;哈罗德·约翰·基塔 申请(专利权)人: 阿兰德公司
主分类号: C09K13/00 分类号: C09K13/00
代理公司: 上海专利事务所 代理人: 全永留
地址: 美国新泽西州0796*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 含有 环状 氟化 磺酸盐 表面活性剂 蚀刻 溶液
【权利要求书】:

1、一种包含可溶性表面活性剂且阻止表面活性剂沉淀的蚀刻溶液,其特征在于所说的溶液包括氟化铵和表面活性剂的一种水状混合物,所说混合物含有氟化铵(NH4F)13.5-40.5(重量)%以及具有以下结构式的氟化环烷烃磺酸盐和(或)氟化环烯烃磺酸盐25-2000ppm,

式中:n为小于等于6的一个数值,X可以是F、Cl、H、OH、SO4A、R或者可略去R,Y可以是F-、Cl、H、OH-、R或者可略去R、A可以是H+、NH+、Na+、K+、Li+、R+或者NR+4,其中R为1-4个碳原子的烷基和(或)氟烷基及它们的混合物,其余为水。

2、如权利要求1所说的一种蚀刻溶液,其特征在于所说的溶液含有高达11(重量)%的氟化氢。

3、如权利要求1所说的一种蚀刻溶液,其特征在于所说的氟化环类表面活性剂中“n”为小于等于6的一个数值。

4、如权利要求1所说的一种蚀刻溶液,其特征在于所说的氟化环类表面活性剂是具有低金属离子含量的铵盐。

5、如权利要求1所说的一种蚀刻溶液,其特征在于所说的氟化环烷烃或者环烯烃磺酸盐是氟化环烷烃或者环烯烃磺酸。

6、如权利要求1所说的一种蚀刻溶液,其特征在于所说的氟化环表面活性剂的存在量为200-5000ppm,并以干燥固体或者以极性水溶剂混合的溶液添加到蚀刻溶液中。

7、如权利要求1所说的一种蚀刻溶液,其特征在于所说的溶液含有高达11(重量)%的氟化氢、200-500ppm的氟化环类表面活性剂以及减少腐蚀的稀释剂。

8、如权利要求2所说的一种蚀刻溶液,其特征在于所说的溶液含有高达50(重量)%的用于降低腐蚀的稀释剂,所说稀释剂是由醋酸、乙二醇以及1-3个碳原子的醇组成的组中选择的。

9、一种制备蚀刻溶液的方法,其特征在于所说的方法包括将49(重量)%的氟化氢水溶液和15-40(重量)%的氟化铵水溶液掺合,并添加200-5000ppm的有效的氟化环类表面活性剂。

10、如权利要求9所说的方法,其特征在于所说的氟化铵水溶液含有大约30(重量)%的NH4F。

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