[其他]导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺无效

专利信息
申请号: 86106491 申请日: 1986-09-23
公开(公告)号: CN86106491B 公开(公告)日: 1988-04-20
发明(设计)人: 李敏超 申请(专利权)人: 青州铝箔纸厂
主分类号: C04B35/58 分类号: C04B35/58;C04B35/56
代理公司: 山东省专利服务处 代理人: 庄益利
地址: 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 导电 复合 陶瓷 蒸发 制造 工艺
【权利要求书】:

1、一种导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于该工艺包括:

(1)由BN,B4C,Ti,TiH4,Al等原料组成;

(2)它们的重量组成比为BN:36-44%,B4C:13-20%,Ti:25-33%,TiH4:2-6%,Al:8-15%;

(3)合成反应时的热压温度为1800℃;

(4)合成反应是一步完成的;

(5)采用磨槽工艺和金刚石砂轮加工。

2、根据权利要求1所述的导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于其重量组成比为BN:43%,B4C:15%,Ti:29%,TiH4:2%,Al:11%较佳。

3、一种导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于该蒸发舟是专用于真空镀膜。

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