[其他]导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺无效
申请号: | 86106491 | 申请日: | 1986-09-23 |
公开(公告)号: | CN86106491B | 公开(公告)日: | 1988-04-20 |
发明(设计)人: | 李敏超 | 申请(专利权)人: | 青州铝箔纸厂 |
主分类号: | C04B35/58 | 分类号: | C04B35/58;C04B35/56 |
代理公司: | 山东省专利服务处 | 代理人: | 庄益利 |
地址: | 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电 复合 陶瓷 蒸发 制造 工艺 | ||
1、一种导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于该工艺包括:
(1)由BN,B4C,Ti,TiH4,Al等原料组成;
(2)它们的重量组成比为BN:36-44%,B4C:13-20%,Ti:25-33%,TiH4:2-6%,Al:8-15%;
(3)合成反应时的热压温度为1800℃;
(4)合成反应是一步完成的;
(5)采用磨槽工艺和金刚石砂轮加工。
2、根据权利要求1所述的导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于其重量组成比为BN:43%,B4C:15%,Ti:29%,TiH4:2%,Al:11%较佳。
3、一种导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺,其特征在于该蒸发舟是专用于真空镀膜。
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