[其他]导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺

说明书

本发明是真空镀铝用的一种主要蒸发器具的制造工艺。

目前国内使用的蒸发皿是用钛粉合成的，其合成时反应温度高，成品易断裂，使用寿命短，蒸发速度慢，热压温度高（2000℃），加工舟槽的工艺成本高、速度慢（用超声波法加工）。而国外自七十年代以来，美、英、西德等国均用硼化物加工合成陶瓷作蒸发源，但为二步合成反应法（先合成TiB₂与AlN），工艺较复杂，生产周期相对较长。而日本虽为一步法合成，但没TiH₄的成份。

本发明的目的是解决上述存在的问题提出一种合成反应较易，成品不易断裂，使用寿命较长的工艺方法及其制品。

本发明是一种导电复合陶瓷蒸发舟的制造工艺其特征在于由BN，B₄C，Ti，TiH₄和Al粉等组成，其合成重量比为BN：36-44%，B₄C：13-20%，Ti：25-33%，TiH₄：2-6%，Al：8-15%。并分别以43%，15%，29%，2%，11%的比为较佳。其合成反应，是在加温加压的状态下进行。其压力为每平方厘米200公斤。热压温度为1800℃，其合成工艺方法是，按一定组分比取上述各料混合充分，再烘干（80℃）装于模具内置于石墨热压炉中升温加压2小时，在1800℃时保温20分钟，退火并保压20分钟，冷却至室温，取出并切割、磨光。用金刚石砂轮磨槽加工，即得蒸发舟成品。

本发明的优点在于加工工艺简单，产品使用寿命长，原材料、电耗低，热压温度低（国外有二步合成法，也有没加TiH₄等，且温度为2050℃），抗热震、耐腐蚀，镀铝速度快，增加镀铝纸的产量，提高了镀铝纸的质量。

本发明的工艺流程为：

原料混合均匀→烘干（80℃）→装入石墨模具→入炉→加温、加压、烧结→1800℃保温20分钟→保压（200公斤/厘米²）20分钟→退火，冷却至室温→取出，磨光，切块→开槽。

化学反应式为：①TiH₄△/Ti+2H₂↑

②Ti+2Al+2BN1800℃/TiB₂+2AlN

③3Ti+B₄C1800℃/2TiB₂+TiC

配比实施例为：

成品有关性能数据比较如下：