[其他]I型凹面光栅分度误差的检验方法无效
| 申请号： | 86107454 | 申请日： | 1986-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN86107454A | 公开（公告）日： | 1988-05-18 |
| 发明（设计）人： | 吴振华 | 申请（专利权）人： | 北京光学仪器厂 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京市仪器仪表专利事务所 | 代理人： | 王树政 |
| 地址： | 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 凹面 光栅 分度 误差 检验 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种I型凹面光栅分度误差检验方法，其特征在于该方法由凹面反射镜(4)、(5)和平面反射镜(3)构成。
2、如权利要求1所述的Ⅰ型凹面光栅分度误差检验方法，其特征在于凹面反射镜（4）的焦点与凹面反射镜（5）的焦点重合。
3、如权利要求1所述的Ⅰ型凹面光栅分度误差检验方法，其特征在于平面反射镜（3）可以三维转动。
4、如权利要求1或2所述的Ⅰ型凹面光栅分度误差检验方法，其特征在于被测工作台可以三维转动。
5、如权利要求3所述的Ⅰ型凹面光栅分度误差检验方法，其特征在于被测工作台可以三维转动。
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