[其他]用光刻法处理薄金属片的方法

权利要求书

1、一种处理薄金属片的方法，其特征在于包括下列步骤：

将一支承片固定地加在所述金属片的任何一个表面上；

向所述金属片的另一表面加一种光刻胶材料以在其上形成一个光刻胶层；

向所述光刻胶层上暴光所期望的图案影像；

向所述光刻胶层上加显影液以使所述光刻胶层上的所述图案像显影，从而露出一具有所期望的图案的金属片表面；

向所述金属片的表面加腐蚀液以腐蚀所露出的所述金属片表面；

从所述金属片上清除所述光刻胶层；以及

从所述金属片上除去所述支承片。

2、一种处理薄金属片的方法，其特征在于包括下列步骤：

固定地将所述金属片加到一个支承片的正反两面;

分别地向所述金属片加光刻胶材料以使在其上形成光刻胶层;

在所述光刻胶层上暴光所期望的图案影像;

向所述光刻胶层上加显影液以将所述光刻胶层上的所述图案像冲洗出来，从而暴露具有所期望图案的金属片表面;

向所述金属片表面上加一种腐蚀液以将所述的暴露出的金属片表面腐蚀;

从所述金属片上除去所述光刻胶层;及

从所述支承片上取出所述金属片。