[其他]用光刻法处理薄金属片的方法

说明书

本发明涉及使用光刻技术处理薄金属片的方法，例如，这种方法能应用于电视接收机显像管中的阴罩的微制作。

在用于彩色显像管的阴罩的制作中，光刻技术用来形成阴辊材料中的圆形的或狭缝的孔隙以使电子束从其中通过。更特殊地，在一个拉长的、带状金属片诸如展性软钢片或殷钢片的表面形成一个光刻胶层，在暴光、冲洗等步骤后产生一个保护层，一种腐蚀液喷洒到金属薄片的表面以将通过保护层孔隙暴露的金属片部分溶解从而在金属片上形成所期望的孔隙。

其中，如在阴罩的情况下，对孔隙尺寸要求有高精度，通常的方法是在金属片上形成具有图案影像的保护层并向其上喷洒一种腐蚀液以达到这种要求。本发明的目的是提供一种对此种技术改进的方法。

欲被处理的拉长的带状金属片是超薄的，例如，具有约0.05毫米的厚度，对于每个加工步骤均要向前运动的金属片，在其环绕辊筒的腹部可能破裂。为了避免这种破裂就需要使连续生产线上的金属片的传送履带尽可能地平以使金属片的卷绕运动最小。这就产生了生产设备的长度大大增加的问题。既使金属片是薄板状并且其传送履带是平的，如果金属片极薄，由于处理溶液的冲力，金属片也会起皱或破裂，造成加工的困难。

本发明已被用来解决上述现有技术中的问题。因此，本发明的目的是提供一种蚀刻薄金属片的方法，在利用已有生产设备传输金属片的过程中不存在金属片破损现象，并且形成保护层、腐蚀金属片和从金属片上除去保护层的步骤与已有技术相同。

本发明利用这样一个事实来达到上述目的，即一薄金属片通过仅从其一个面来腐蚀就能被高精度地开孔。也就是说，如果金属片是薄的，仅向其一个面加上腐蚀液就能有效地蚀刻此金属片，使透过其材料厚度达到另一面，并且产生的孔隙具有最佳造型。本发明基于此事实，并向薄金属片上不加腐蚀液的一面附加一个支承片，以此加固金属片。这样加固的金属片在其传输过程中就不会发生破损。

更具体地，根据本发明的第一种情况，处理薄金属片的方法包括的步骤为：在金属片的某个表面上固定地复盖一支承片;在金属片的另一面加光刻胶材料以形成一光刻胶层;将所期望的图案影像暴光在此光刻胶层上;在此光刻胶层上加显影液以在此层上显出图案像，借此将具有一个所期望图案的金属片表面显露出来;在此金属片表面加腐蚀液以腐蚀此金属片表面的暴露部分;清除金属片上的光刻胶层;以及将支承片从金属片上移去。

根据本发明的第二种情况的处理方法包括下列步骤：分别在支承片的正反两面固定地复上金属片;向金属片加一种光刻胶材料以在其上形成光刻胶层;将所期望的图案像暴光在光刻胶层上;向光刻胶层上加显影液以使光刻胶层上的图案显影，从而使具有所期望图案的金属片表面显露;向金属片表面加一种腐蚀液以将如此被暴露出来的金属片表面腐蚀;从金属片上除去光刻胶层;从支承片上取出金属片。

按照本发明的第一种情况，金属片和支承片被层叠为一个单元，所得的组合结构具有加强了的坚固性。如此加固的金属片经受如下加工步骤：作一个光刻胶层，将胶层弄干，将其暴露在光线下，显影图案影像，及加腐蚀液。因此，即使是薄的金属片，完全避免了由于它的纵向卷绕运动或处理液冲击所造成的破损。当金属片足够薄时，可仅从其一个面上腐蚀来达到令人满意的孔隙成形精度。

按照本发明的第二种情况，一对金属片被加到一个支承片的正反两面，并同时被加工。这使得阴罩等的制作实现了已有技术生产率的两倍。

本发明其它特点和优点将从下列说明中体现出来。

图1（A）-（H）为金属片在根据本发明第一种情况的各种处理步骤中的局部垂直剖面图。

图2（A′）-（H′）类似于图1（A）-（H），用来说明本发明的第二种情况。