[其他]磁膜以及使用这种磁膜的磁头

权利要求书

1、一种磁膜，以铁或由铁作为主要成分组成，包括从可填隙地溶于铁的硼、氮、碳和磷中选出的一种或多种元素，其特征在于，上述一种或多种元素是以可填隙地可溶方式包含在上述磁膜中的。

2、如权利要求1所述的磁膜，其特征在于，上述磁膜主要包括铁和5-20at·%的从可填隙地溶于铁的硼、氮、碳和磷中选出的一种或多种元素。

3、如权利要求1所述的磁膜，其特征在于，上述磁膜包括一个非晶体部分。

4、如权利要求1所述的磁膜，其特征在于，上述磁膜是由溅射形成的。

5、如权利要求1所述的磁膜，其特征在于，通过溅射一个由铁和从碳、硼、磷、氮化硼（BN）、碳化硼（B₄C）及磷化硼（BP）中选出的至少一种物质构成的靶子来形成上述磁膜。

6、如权利要求1所述的磁膜，其特征在于，上述磁膜是排布在一个基底上的。

7、一种包括相互叠加的中间层和主磁膜的磁膜，每层主磁膜以铁或由铁作为主要成分组成，包括从可填隙地溶于铁的硼、氮、碳和磷中选出的一种或多种元素，其特征在于，上述一种或多种元素是以可填隙地可溶方式包含在上述主磁膜中的。

8、如权利要求7所述的磁膜，其特征在于，每个上述中间层由镍-铁合金组成。

9、如权利要求7所述的磁膜，其特征在于，每个上述中间层由非晶体磁合金组成。

10、如权利要求7所述的磁膜，其特征在于，每个上述中间层由钴-锆合金组成。

11、如权利要求7所述的磁膜，其特征在于，每个上述主磁膜主要包括铁和5-20at·%的从可填隙地溶于铁的硼、氮、碳和磷中选出的一种或多种元素。

12、如权利要求7所述的磁膜，其特征在于，每个上述主磁膜包括一个非晶体部分。

13、如权利要求7所述的磁膜，其特征在于，每个上述主磁膜由溅射形成。

14、如权利要求7所述的磁膜，其特征在于，通过溅射一个由铁和从碳、硼、磷、氮化硼（BN）、碳化硼（B₄C）及磷化硼（BP）中选出的至少一种物质组成的靶子来形成每个上述主磁膜。

15、如权利要求7所述的磁膜，其特征在于，每个上述主磁膜是排布在一个基底上的。

16、一种具有一个磁极的磁头，上述磁极的至少一部分包括一个磁膜，该磁膜以铁或由铁作为主要成分组成，包括从可填隙地溶于铁的硼、氮、碳和磷中选出的一种或多种元素，其特征在于，上述一种或多种元素是以可填隙地可溶方式含在上述磁膜中的。

17、如权利要求16所述的磁头，其特征在于，上述磁膜主要包括铁和5-20at·%的从可填隙地溶于铁的硼、氮、碳和磷中选出的一种或多种元素。

18、如权利要求16所述的磁头，其特征在于，上述磁膜包括一个非晶体部分。

19、如权利要求16所述的磁头，其特征在于，上述磁膜由溅射形成。

20、如权利要求16所述的磁头，其特征在于，通过溅射一个由铁和从碳、硼、磷、氮化硼（BN）、碳化硼（B₄C）及磷化硼（BP）中选出的至少一种物质组成的靶子来形成上述磁膜。