[发明专利]盘形涡轮分子泵无效
| 申请号： | 87103982.6 | 申请日： | 1987-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1009297B | 公开（公告）日： | 1990-08-22 |
| 发明（设计）人： | 朱岳;王孝珍;竺长新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院北京真空物理实验室 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国科学院专利事务所 | 代理人： | 关玲,方国成 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【权利要求书】：
1、一种主要有驱动电机，泵体内有旋转圆盘和定圆盘，定圆盘盘面上开有抽气沟槽的单级和多级盘形涡轮分子泵，其特征在于：
(1)、旋转圆盘上沿外侧圆周均匀分布有涡轮短叶齿，
(2)、定圆盘盘面一面或两面所开的抽气沟槽沿圆周均匀分布，且呈放射性圆弧线形或直线形。
2、根据权利要求1所述的盘形涡轮分子泵，其特征在于定圆盘两个盘面上所开的圆弧线形抽气沟槽线形的走向相反。
3、根据权利要求1或2所述的盘形涡轮分子泵，其特征在于定圆盘两个盘面上所开的圆弧线形或直线形抽气沟槽的槽数和槽的深度可以不相等。
4、根据权利要求1或2所述的盘形涡轮分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开的圆弧线形或直线形抽气沟槽的线形长度可以不相等。
5、根据权利要求3所述的盘形涡轮分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开的圆弧线形或直线形抽气沟槽的线形长度可以不相等。
6、根据权利要求1或2所述的盘形涡轮分子泵，其特征在于定圆盘盘面上的抽气沟槽可以是对数螺线形槽。
7、根据权利要求3所述的盘形涡轮分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开抽气沟槽可以是对数螺线形槽。
8、根据权利要求4所述的盘形涡轮分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开抽气沟槽可以是对数螺线形槽。
9、根据权利要求5所述的盘形涡轮分子泵，其特征在于定圆盘盘面上所开抽气沟槽可以是对数螺线形槽。
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