[发明专利]盘形涡轮分子泵

说明书

本发明涉及一种改进的盘形分子泵。

现有盘形分子泵主要是由一驱动电机带动泵体内一高速旋转的平板圆盘和一带有特定线形抽气沟槽的定圆盘构成的单级或多级盘形分子泵。例如1943年塞格巴恩（Sagbahn）教授设计出的第一台盘形分子泵，其定圆盘盘面上所开的抽气沟槽线形或称抽气沟槽的槽壁线形是阿基米德螺旋线。这种泵虽然可以在较高的入口压强下工作，如10^-2-1.0毫巴的入口压强，但由于结构上的限制，该泵的抽速很小，使用范围不广。

近年来由于电子工业和等离子体技术的迅猛发展，迫切需要一种在入口压强为10^-2-1.0毫巴压强下工作时，同时具有较大抽速和较高压缩比的真空泵。而现有的涡轮分子泵和扩散泵都不具有这种特性。

为了解决这个问题，人们对盘形分子泵作了不断改进，以期在保持上述盘形分子泵的优点外进一步提高抽速和压缩比。

中国发明专利说明书GK85105304公开了一种定圆盘上的抽气沟槽是对数线形槽的盘形分子泵，虽然这泵具有上述盘形分子泵的优点，但由于仅是简单的改进了定圆盘盘面上抽气沟槽线形，对机械加工定圆盘有所改善，而对提高抽速作用不大。

本发明的任务是，提出一种改进的盘形分子泵，它不仅在入口压强为10^-2-1.0毫巴的压强下工作时具有较大的抽速和较高的压缩比，而且具有机械加工方便，实用性强的特点

本发明所设计的盘形涡轮分子泵，其基本结构是，驱动电机主轴带动泵芯内转子上的旋转圆盘，其旋转圆盘上沿圆周均匀分布有涡轮叶齿，其定圆盘内圆周与转子有一定间隙，在泵体内固定在泵体上。定圆盘盘面上开有若干个沿圆周均匀分布的抽气沟槽，且此抽气沟槽是呈放射状圆弧线形的槽或直线形的槽。

本发明的泵，其旋转圆盘上的涡轮叶齿可以是普通涡轮叶齿，也可以把叶齿开在旋转圆盘的边缘处，其叶齿长度可以相同，也可以是具有相同长度的长、短叶齿相间排列。

本发明的单级泵，由一片上述发明结构的旋转圆盘和一片相对于旋转圆盘的一侧盘面上开有上述发明结构或对数线形结构的抽气沟槽的定圆盘所组成。

本发明的多级泵，是由若干上述发明单级结构的旋转圆盘、定圆盘沿轴向相间交错串联排列而成。

本发明的多级泵，其各级旋转圆盘的涡轮叶齿长度及齿数可以不全相同。

本发明的多级泵，其各级定圆盘两侧面都开有上述发明结构的抽气沟槽，且其两侧面的抽气沟槽的线形走向相反。

本发明的多级泵，其各级定圆盘盘面上所开圆弧线形抽气沟槽槽数、槽深及线形长度可以不全相同;同一盘面上所开的抽气沟槽可以是具有相同长度的长、短圆弧线形槽沿圆周相间分布。

本发明的单级或多级泵，其旋转圆盘可以采用不带涡轮叶齿的平板状旋转圆盘与上述发明结构的定圆盘组合而成。

发明的具体结构及工作情况由以下附图及实施例给出。

图1，根据本发明提出的一种单级盘形涡轮分子泵泵体剖视结构图。

附图1说明。

1.抽气口

2.泵体

3.定圆盘

4.旋转圆盘

5.排气口

图2，根据本发明提出的多级盘形涡轮分子泵，一种叶齿开在旋转圆盘边缘处，定圆盘抽气沟槽呈圆弧线形的七级整体泵局部剖视图。

附图2说明。

1.泵的抽气口法兰

2.驱动电机主轴

3.旋转圆盘边缘上的涡轮叶齿

4.转子

5.旋转圆盘

6.两侧盘面开有圆弧线形抽气沟槽的定圆盘

7.隔离环

8.一侧盘面开有圆弧线形抽气沟槽的定圆盘

9.圆弧线形抽气沟槽

10.固定螺钉

11.排气口法兰

12.指示气体走向的箭头

图3，根据本发明的盘形涡轮分子泵提出的一种在边缘上开有等长度涡轮叶齿的旋转 圆盘图。

图4，根据本发明的盘形涡轮分子泵提出的一种在边缘上具有相同长度的长、短涡轮叶齿相同排列的旋转圆盘图。

图5，根据本发明的盘形涡轮分子泵提出的一种抽气沟槽呈圆弧线形，且线形长度相同的长、短抽气沟槽相间排列的定圆盘图。

图7，根据本发明的盘形涡轮分子泵提出的两种两侧盘面上抽气沟槽呈直线形的定圆盘图。