[其他]泄漏检测器以及其工作方法

说明书

本发明涉及一种根据对流原理工作的泄漏检测器，该器有一个第一高真空泵，其进口侧与泄漏检测器的进口相连;一个第二高真空泵，其进口侧与一台试验气体检测仪（如质谱仪）相连;和一预真空泵，其进口侧与高真空泵的出口侧相连。

这种类型的泄漏检测器已由DE-PS2049117公知。把试件放在有氦气或氦气和空气的混合气体的试验箱内，如果试件有泄漏，就有试验气体经漏洞流入试件内部，经过与气流方向同向的第一高真空泵然后（因轻的气体有相对小的可压缩性）经过与气流方向相反的第二高真空泵到达质谱仪（分析器管）。这种类型的泄漏检测器当有特别严重的泄漏时存在着危险，即有较多的试验气体流入该仪器内。这不仅将导致质谱仪短时间的过载，而且导致质谱仪较长时期的污染，因为从质谱仪中彻底去除氦要相当长的抽气时间，即使是普通的元件，特别是抽气泵在较长时间内也要受到氦的污染，以致在过载后立即进行的泄漏测量带有很大的误差。

如果试件（如极普通的试件）先用一抽气泵经一单独的管路抽气，直至它可与高真空泵相连接，那么当有特别严重的泄漏时存在着危险，即在前一抽气期间试验箱中的氦气大部分或甚至全部被抽出。如果接着把试件与高真空泵相连开始泄漏检测，那么只能发现很少试验气体或根本没有。其后果是尽管试件有严重的泄漏却被认为只有小的泄漏或根本没有泄漏。

本发明是以这一任务为基础的，即设计前面所述类型的泄漏检测器，使得质谱仪的过载不再发生。保证能发现大泄漏，并且能在一个很宽的灵敏度范围内自动地检测泄漏。

本发明这一任务可这样解决，设置一个第二预真空泵，其进口侧，一路经一条设有一个伺服阀的管路与泄漏检测器的进口相连，另一路经一条设有一个节流阀的管路与第一预真空泵的进口侧相连。一个以这种方式形成的泄漏检测器有可能在试件排气开始时就开始泄漏检测。为此，试件要借助第二个预真空泵排气。如果存在一个特别严重的泄漏，那么在这一阶段就已经有试验气体抽出。少量试验气体经过带有节流阀用来连接这两个抽气泵的进口侧的管路进入第二高真空泵的出口侧，从那里逆着气流方向流向质谱仪。显然，试件中有较大的泄漏可如此确定。这一节流阀可选得足够小，以致不存在质谱仪的过载或污染的危险。如果在检测的第一抽气阶段没有发现试验气体，那么在试件内部达到一定压力以后，第一高真空泵的进口侧可直接与试件相连，从而开始更灵敏的泄漏检测。这一步用简单的方法依靠试件的压力就可自动进行。

本发明的另一些优点和细节借助于附图中所示的实施例来阐述。

附图表示了一台泄漏检测器，其进口用1表示。进口1经过相互平行的管路2（具有节流3和阀4）和5（有阀6）以及管路7与一个高真空泵9的进口侧8相连。

这一高真空泵是一双级涡轮-分子泵11的一级，其第二级用12表示。在第二级泵12的进口侧13连接一个试验气体探测器，特别是一台质谱仪14。高真空泵9和12的两个出口侧15和16都经预真空管路17与第一预真空泵19的进口侧18相连。另外在预真空管路17上还连接有测压点20。

这两个涡轮-分子泵9和12共轴。其进口8和13位于涡轮-分子泵11的两端。工作时，气体从外向内（箭头21）流入这两个泵9和12，以致只存在一个预真空接口22。

此外，泄漏检测器的进口1经具有阀24的管路23与第二预真空泵26的进口侧25相连。另外有通风阀27和侧压点28连接在管路23上。

这两个预真空泵19和26的进口侧18和25经两条平行的管路27和28相互连接。在管路27上有一个节流阀29。管路28上有一个伺服阀30。

用于自动检测泄漏所设置的中心控制31，它经过各个没有用有关符号表示的控制管路与伺服阀4，6，24和30以及测压点20和28相连。

在用所述的泄漏检测器进行泄漏检测时采用下述方法：

首先关闭阀4，6，24和30，使泄漏检测器处于准备工作状态，这时接通涡轮-分子泵11和预真空泵19和26，当质谱仪14中的压力小于10^-4毫巴时或者当涡轮-分子泵11的转速达到其额定值并且预真空压力（测量仪20）小于最大许可压力（例如0.1毫巴）时，检测器就处于准备工作状态。

要检查的试件32处于试验箱33中，与泄漏检测器的进口1相连。在试验箱33中有试验气体，尤其是氦气，如果试件有泄漏，它在泄漏检测期间渗入试件。如果用氦气喷射试件32，如很普通的试件，就可废除试验箱33。

为了进行泄漏检测，要关闭还开着的通风阀27并且打开位于管路23上的阀24。这样就实现了试件32与预真空泵26的连接，使得试件排气。