[发明专利]半导体器件的制造方法在审

专利信息
申请号: 90100191.0 申请日: 1986-03-19
公开(公告)号: CN1043828A 公开(公告)日: 1990-07-11
发明(设计)人: 冲永隆幸;馆宏;尾崎弘;大宽治;古川道明;山崎康行 申请(专利权)人: 株式会社日立制作所;日立弗尔希工程株式会社
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60;H01L23/48
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人: 王以平
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体器件 制造 方法
【权利要求书】:

1、一种半导体器件的制造方法,包括下列步骤:

(1)制备一包含多根引线的引线框架,每根引线均有一个内引线部分和一个外引线部分;

(2)把一绝缘片固定在所述引线的一个或几个内引线部分上一

(3)将一其上具有多个压焊块的芯片固定在所述绝缘片上;

(4)用压焊线使所述内引线部分和相应的压焊块之间实现电连接;

(5)把所述芯片、所述内引线部分和所述压焊线密封在树脂内。

2、如权利要求1所述的半导体器件的制造方法,其中,所述绝缘片至少是由硅橡胶、聚酰亚胺薄膜或有机材料中的一种制成的。

3、一种制造半导体器件的工艺过程,包括下列步骤:

(1)制备一包含多根引线的引线框架,每根引线均有一个内引线部分和一个端部,这些内引线部分基本在一个平面内延伸并分成第一、第二、第三和第四组,各组均有多根内引线部分;

(2)把一绝缘片固定在所述引线的内引线部分上;

(3)将一矩形半导体芯片固定在所述绝缘片上,所述芯片上至少有一个电子器件和多个压焊块,该芯片有第一、第二、第三和第四侧边;

(4)用压焊线使所述内引线部分和相应的压焊块实现电连接;

(5)将所述芯片、内引线部分和压焊线密封在树脂内;

其中,所述第一组内引线部分至少和所述芯片的第一侧边相交,且其端部延伸到靠近所述芯片的第三侧边排列的压焊块附近;

所述第二组内引线部分至少和所述芯片的第一侧边相交,且其端部延伸到靠近所述芯片的第四侧边排列的压焊块附近,

所述第三组内引线部分至少和所述芯片的第二侧边相交,且其端部延伸到靠近所述芯片的第三侧边排列的压焊块附近。

所述第四组内引线部分至少和所述芯片的第二侧边相交,且其端部延伸到靠近所述芯片的第四侧边排列的压焊块附近。

4、如权利要求3所述的制造半导体器件的工艺过程,其中,所述绝缘片至少是由硅橡胶、聚酰亚胺薄膜或有机材料中的一种制成的。

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