[实用新型]减压真空导入装置无效
| 申请号： | 90209351.7 | 申请日： | 1990-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN2074023U | 公开（公告）日： | 1991-03-27 |
| 发明（设计）人： | 钱石南;刘万波;刘泽文;阚娅 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国科学技术大学专利事务所 | 代理人： | 童建安 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减压 真空 导入 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种减压真空导入装置，它包括有驱动系统1，导入件2和波纹管3，其特征在于所述波纹管的内外壁面中的一面处于工作真空腔室4中，另一面处于粗密封环境5中，该粗密封环境5与减压装置8相接通。
2、根据权利要求1所述的真空导入装置，其特征在于所述驱动系统1可以包含在粗密封环境5中。
3、根据权利要求1所述的真空导入装置，其特征在于所述减压装置8是专用或兼用抽气泵。
4、根据权利要求1所述的真空导入装置，其特征在于所述驱动系统1可以是直线步进电机，或者是旋转式步进电机配置机械传动机构，也可以是人工驱动的机械装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学，未经中国科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/90209351.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
