[实用新型]减压真空导入装置

说明书

本实用新型提供一种减大气压的真空导入装置，涉及真空技术领域。

真空环境中执行运动，通常利用波纹管的可伸缩性或其它变形来实现。现有技术中的导入真空的运动执行装置，波纹管内外壁的压差很大，它的变形阻力也相应增大。根据计算，当波纹管一侧为真空，另一侧为大气时，直径φ30的波纹管在轴向受到7kg大气压力。因此，该装置在执行真空内的运动时，必须同时克服很强的大气压力，致使效率低，而且常常会延迟响应时间。美国威斯康辛大学同步辐射装置上使用钢丝和平衡锤来平衡大气压力，虽解决了压力问题，但锤的惯性会影响运动速度。使用弹簧来克服压力会影响速度的稳定性问题。这两种结构都有结构繁琐、不紧凑的缺点。

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，改进现有装置的结构，提供一种本身阻力很小的导入真空的运动执行装置。

本实用新型是现有导入真空运动执行装置的改进。它包括有驱动系统、导入件和波纹管，其特征在于所述波纹管的内、外壁中的一面处于工作真空腔室中，另一面处于粗密封环境中，该粗密封环境与另一减压装置相接通。所述减压装置可以是一个专用或兼用抽气泵。当减压装置工作时，可以保证粗密封环境内处于低度真空状态，从而大大减小了波纹管内外壁的压力差，使其伸缩方便。当导入件受驱动系统带动作运动时，与它固连的波纹管即随之伸缩或变形，固连在波纹管端的动作件也就产生了运动，整个执行过程无强大气压作用，因此动作件的运动比较灵活、轻便。

本实用新型所述的驱动系统，可以使用直线步进电机，使其主轴直接和导入件钢性连接；或者是旋转式电机配置上合适的机械传动机构，以使导入件有直线运动、摆动或其它形式的运动。这种机械传动机构可以为齿轮、齿条传动机构、螺母丝杆传动，或者为曲柄滑块、曲柄滚轮机构等。还可以使用完全人力驱动的机械装置，例如，用手转动手轮作为旋转运动的驱动。为了实现过程自动化，所用的步进电机可以由微机控制。在具体结构设计时，也可以使驱动系统包含在粗密封环境中，电源线及控制电缆线从中引出，以进行控制。当粗密封环境中有运动件伸出到外界大气空间时，其接触处使用密封件，以求间隙最小，漏气最少。

下面结合实施例和附图作进一步描述：

图1是本实用新型的示意框图。图中，1为驱动系统。2为导人体，3为波纹管，4为工作真空腔室，5为粗密封环境，6为动作件，7为通道，8为减压装置，9为密封件。图中虚线是表示粗密封环境中包含有驱动系统的情况。

图2是用于同步辐射光刻系统中曝光快门动作装置的结构示意图。图中，11为旋转步进电机，12为导入杆，13为密封件，14为快门片，15为工作真空腔室，16为减压装置接口，17为滚动轴承，18为拨杆。

图3是图2A－A剖视放大图。图中，19为连接轴，20为垫圈，21为螺母。

在该实施例中，当电机11转动时，带动固连在其主轴上的拨杆18转动，滚动轴承17外圈与拨杆18的上下内框面动配合，轴承内圈安装在轴19上，通过螺母21与导入杆刚性连接，从而使电机运动传递给导入杆，把电机转动转换为导入杆的上下直线运动，使固连在导入杆的下端的快门片打开或关闭光路。

本装置具有运动灵活轻便，运动阻力小，效率高，结构紧凑，制造方便等特点，并能实现快速真空导入，可广泛用于执行各种真空环境中的运动。