[发明专利]光刻胶和光学应用用的低光密度聚合物和共聚物的制备方法无效

专利信息
申请号: 91104298.9 申请日: 1991-06-29
公开(公告)号: CN1057847A 公开(公告)日: 1992-01-15
发明(设计)人: 米歇尔·时汉;詹姆斯·里 申请(专利权)人: 赫希斯特人造丝公司
主分类号: C08F12/12 分类号: C08F12/12;C08F2/00;G03F7/004
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利代理部 代理人: 陈季壮
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光刻 光学 用用 光密度 聚合物 共聚物 制备 方法
【权利要求书】:

1、一种制备含聚(4-羟基苯乙烯)或取代的聚(4-羟基苯乙烯)或这两种物质的方法,所述方法包括以下步骤:

a)使一种含4-乙酰氧基苯乙烯单体或取代的4-乙酰氧基单体或这两种物质和引发剂的混合物在一种至少含有一种有机溶剂的反应介质中反应,其中所述引发剂及其分解产物单独或作为聚合物封端基在约240-约260nm的波长范围内基本上不吸收辐射,或其中所述引发剂的浓度不到所述单体的约3%(摩尔),由此制得一种含聚(4-乙酰氧基苯乙烯)或取代的聚(4-乙酰氧基苯乙烯)或这二者的聚合物,由于单体转化的结果或由于除掉残余单体,致使在后序酯基转移反应步骤中所用的反应混合物中存在10wt%或以下的残余单体(以所得聚合物重量计),以及

b)然后,在一种每当量非酯基转移的聚(4-乙酰氧基苯乙烯)或取代的聚(4-乙酰氧基苯乙烯)至少含一当量醇的酯基转移反应介质中,使用一种酸催化剂,使所述聚(4-乙酰氧基苯乙烯)醋基转移成聚(4-羟基苯乙烯)或使所述取代的聚(4-乙酰氧基苯乙烯)酯基转移成取代的聚(4-羟基苯乙烯)或使这两种物质酯基转移,其中所得聚(4-乙酰氧基苯乙烯)转化成所述聚(4-羟基苯乙烯)或所述取代的聚(4-乙酰氧基苯乙烯)转化成所述取代的聚(4-羟基苯乙烯)的转化率至少为85%(重量),或这两种物质的酯基转移率至少为85%(重量)。

2、权利要求1的方法,其中C1-C5醇至少占所述步骤a)反应介质的主要部分。

3、权利要求2的方法,其中步骤b)的所述酯基转移反应介质基本上的与步骤a)所用的相同的反应介质或是其官能相同的反应介质。

4、权利要求1,2或3的方法,包括另一步骤:

c)从所述酯基转移反应介质中分离所述含聚(4-羟基苯乙烯)的聚合物,或所述含取代的聚(4-羟基苯乙烯)的聚合物,或含这两种物质的聚合物。

5、权利要求1,2或3的方法,其中所述反应混合物含取代的4-乙酰氧基苯乙烯单体,且其中在所述4-乙酰氧基苯乙烯环结构的3或5,或3和5位上进行取代。

6、权利要求5的方法,其中取代基是甲基或乙基。

7、权利要求1,2或3的方法,其中所述引发剂选自:2,2′-偶氮二(2,4-二甲基戊腈),2,2′-偶氮二(2-甲基戊腈),2,2′-偶氮二(2-甲基丁腈),1,1′-偶氮二(环己腈),2-乙基过氧己酸叔丁酯,过氧新戊酸叔丁酯,过氧新戊酸叔戊酯,过氧二异壬酰,过氧二癸酰,琥珀酰化过氧,过氧重碳酸二(正丙基)酯,过氧重碳酸二(仲丁基)酯,过氧重碳酸二(2-乙基己基)酯,过氧新癸酸叔丁酯,2,5-二甲基-2,5-二(2-乙基己酰过氧)己烷,过氧新癸酸叔丁酯,过氧新癸叔戊酯,以及它们的混合物。

8、权利要求7的方法,其中所述引发剂选自2,2′-偶氮二(2,4-二甲基戊腈),2,2′-偶氮二(2-甲基丙腈),2,2′-偶氮二(2-甲基丁腈),1,1′-偶氮二(环己腈)过氧新戊酸叔丁酯,过氧新戊酸叔戊酯,以及它们的混合物。

9、权利要求1,2或3的方法,其中所述引发剂选自过氧化苯甲酰,过氧苯甲酸叔丁酯,和二过氧苯二甲酸叔丁酯,且其中所述引发剂的摩尔百分数是所述单体的不到约3%(摩尔)。

10、权利要求2或3的方法,其中所述醇反应介质选自C1-C2醇及其混合物。

11、权利要求1,2或3的方法,其中所述酸催化剂基本上不与所述聚(4-乙酰氧基苯乙烯)或所述取代的聚(4-乙酰氧基苯乙烯)反应,或基本上不与所述聚(4-羟基苯乙烯)或由此形成的所述取代的聚(4-羟基苯乙烯)反应。

12、权利要求11的方法,其中所述酸催化剂选自盐酸,磷酸,硝酸,硫酸,甲磺酸和甲苯磺酸。

13、权利要求1,2或3的方法,其中所述引发剂在步骤a)中定期或连续加入,从而得到至少90wt.%的所述4-乙酰氧基苯乙烯单体或所述取代的4-乙酰氧基苯乙烯单体的转化率。

14、权利要求1,2或3的方法,其中所述引发剂在进行所述反应的温度下的半寿期为约0.5小时至约10小时。

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