[发明专利]类金刚薄膜防霉磁盘及其常温多片生产方法无效
| 申请号： | 92105729.6 | 申请日： | 1992-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1074550A | 公开（公告）日： | 1993-07-21 |
| 发明（设计）人： | 高忠;成良玉;贺炳香 | 申请（专利权）人： | 高忠 |
| 主分类号： | G11B5/72 | 分类号： | G11B5/72 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510262*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚 薄膜 防霉 磁盘 及其 常温 生产 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种防霉磁盘，由磁盘及其片芯上的防霉层组成。其特征在于防霉层为结构致密的类金刚薄膜。
2、根据权利要求1所述的防霉磁盘，其特征在于类金刚薄膜厚度为800-1200埃左右。
3、根据权利要求1，其制造方法为：
①安装电极组
②抽真空
③通入含碳气体，并高频电离镀膜
4、根据权利要求3所述的生产方法，其特征在于电极安装组由多片组成，将片芯粘附在电极的两面，并将多片电极套装在中心导气管上，电极间距10-20mm。
5、根据权利要求3所述方法，其特征在于将本底真空抽至1-15pa，镀膜时真空度维持在30-50pa左右。
6、根据权利要求3所述的方法，其特征在于采用10M以上高频电离，用等离子体镀膜。
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