[发明专利]类金刚薄膜防霉磁盘及其常温多片生产方法

说明书

项目所属技术领域：

本发明属于一种表面镀有类金刚薄膜的防霉磁盘及在高真空中低温小功率多片生产此类磁盘的方法和设备。

现有技术情况：

目前在国内外尚无类金刚薄膜防霉磁盘。现有类金刚薄膜生成技术只能在较大功率条件下在几平方厘米到100多平方厘米面积上生成薄膜，只有实验价值不能形成生产能力。本发明人在研制单片类金刚薄膜防霉磁盘后，继续攻克了在高真空高频电离常温状态下，只用通常十分之一的功率，一次在总计1600到3200平方厘米的磁盘面积上生成优质类金刚薄膜。使金刚薄膜和金刚防霉磁盘进入了生产实用阶段。这是本发明所要解决的问题和根本目标。

本项目的详细内容：

本项目所采取的主要技术手段是：

①本发明充分利用辉光放电暗区，尽力减少淀积时的幅射损伤并使高频功率得到充分利用。使每平方厘米在较小功率的条件下在磁盘表面正常生成优质薄膜，这是本发明能够多片大面积高效率生成类金刚薄膜磁盘的技术关键。

②本发明破除繁琐的水冷托盘系统，采用在真空中降低电阻，扩大导热面积，大大降低温度，使在大面积镀膜过程中保持常温镀膜。以保证镀膜质量。

本项目的效果：

此种工艺系统每小时能在总计3000-6000平方厘米的磁盘表面上生成类金刚薄膜，能生产优质类金刚防霉磁盘20-30片。

经国家定点防霉试验单位广州电器科学研究所对此测试，14周期检查时普通磁盘肉眼可见的霉菌满盘都是，非常茂盛，而类金刚防霉磁盘肉眼看不到霉菌，可评为一级防霉。由于防霉试验时人为增加温度，湿度、并喷入大量霉菌，比磁盘的使用和存放环境恶劣得多。可见类金刚防霉磁盘确实具有独特的防霉防潮作用，可确保重要数据的安全保存。