[发明专利]表面电子能谱的测量方法及其装置

权利要求书

1、一种表面电子能谱的测量方法，包括试样加热、系统冷却、温度检测和信号检测四部分，试样加热采用直接加热方式，其特征在于：

(1)加热电流采用脉冲波的形式，在脉冲波的间歇周期Δt₂内进行信号检测，在Δt₁内进行试样加热，使加热和测试在不同的时间间隔内轮流进行；

(2)在脉冲波的基础上调制以交变周期振荡电流，如方波、三角波、正弦波等；

2、一种实现权利要求1所述测量方法的表面电子能谱测量系统，包括脉冲调制开关电源，加热平台、冷却系统、温度检测和信号检测系统五部分，其特征在于：

脉冲调制开关电源，可用来产生权利要求1所述方法中的电流，由整流回路，信号发生回路及调制开关、脉冲变压器等构成；

整流回路产生可在一定电压范围内任意调解的直流电，供调制开关电路工作；

信号发生回路可产生权利要求1所述方法中电流波形成的电压信号；

信号发生回路产生的电压信号输入到调制开关回路，将整流电路产生的直流电变换成脉冲调制电流，并输入到脉冲变压器的初级回路，将高电压脉冲电源转换成低电压脉冲电源，以电流的方式输出。

3、按权利要求2所述的表面电子能谱测量系统，其特征在于所述整流回路由自耦调压器、可控硅整流电路、滤波电路组成；外电路输送来的交流电通过自耦变压器降压，输送到可控硅调压整流电路进行整流，再经滤波电路滤波；

4、按权利要求2所述表面电子能谱测量系统，其特征在于所述的信号发生回路由一次调制电路、二次调制电路推动放大器组成；一次调制电路产生的脉冲信号，经线路耦合到二次脉冲调制电路，而后输送到推动放大器。